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Edwards推出新型iXH500H干泵系列

  • 全球領先的真空和尾氣處理設備及服務供應商Edwards公司擴展其廣受歡迎的應用于嚴苛工藝的iXH產(chǎn)品系列，最新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列針對需要較高氣體流量和靈活泵溫范圍的平板顯示器、太陽能和先進半導體工藝而優(yōu)化，具有較低的能耗和較長的平均維護間隔時間(mean time between servicing， MTBS)，從而顯著降低了擁有成本，同時具備iXH450系列的小占位面積和氫氣抽取能力。
  • 關鍵字： Edwards  半導體  iXH500H  
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