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TPMS壓力傳感器介紹：NPP301與SM5420

汽車(chē)輪胎壓力監(jiān)視系統(tǒng)（TPMS）主要用于汽車(chē)行駛時(shí)實(shí)時(shí)的對(duì)輪胎氣壓進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)測(cè)，對(duì)輪胎漏氣和低氣壓進(jìn)行報(bào)警。目...
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傳感器在土工測(cè)試中應(yīng)用及其選用原則

1．引言隨著科技的迅速發(fā)展，大量的工程測(cè)試問(wèn)題不斷的出現(xiàn)，各種傳感器在土工測(cè)試中也正在得到廣泛的應(yīng)用，如在鐵...
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硅壓力傳感器的疑難問(wèn)題

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一種有源濾波器中電流傳感器噪聲抑制電路設(shè)計(jì)

概述：有源電力濾波器實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中存在大量實(shí)際的噪音干擾，這些干擾嚴(yán)重影響濾波器的工作效果。給出對(duì)于有源...
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使用稱(chēng)重傳感器注意事項(xiàng)

電阻應(yīng)變式稱(chēng)重傳感器本身是一種堅(jiān)固、耐用、可靠的機(jī)電產(chǎn)品。但為了保證測(cè)試精度，我們?nèi)杂性S多在使用中要注...
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基于低壓驅(qū)動(dòng)RF MEMS開(kāi)關(guān)的MEMS開(kāi)關(guān)改進(jìn)

近年來(lái)射頻微電子系統(tǒng)(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開(kāi)關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是...
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低壓驅(qū)動(dòng)RF MEMS開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)與模擬--用于MEMS開(kāi)關(guān)缺陷的改進(jìn)

近年來(lái)射頻微電子系統(tǒng)(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開(kāi)關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是...
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MEMS壓力傳感器及其應(yīng)用

簡(jiǎn)述MEMS壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與工作原理，并探討了其應(yīng)用、壓力傳感器Die的設(shè)計(jì)及生產(chǎn)成本分析，覆蓋了從系統(tǒng)應(yīng)用到銷(xiāo)售鏈。
關(guān)鍵字：華潤(rùn)矽威集成電路 MEMS壓力傳感器惠斯頓電橋硅薄膜應(yīng)力杯硅壓阻式壓力傳感器硅電容式壓力傳感器 200906

解析Microvision單鏡面MEMS芯片技術(shù)

通過(guò)利用大批量生產(chǎn)的液晶面板(LCD)技術(shù)來(lái)代替視圖，數(shù)字投影機(jī)給移動(dòng)演示帶來(lái)了革命性變化，使高輸出電燈泡能...
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一種新型MEMS微波功率傳感器的設(shè)計(jì)與模擬

摘要：提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)，與傳統(tǒng)傳感器相比，新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而...
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將MEMS傳感器用于各種創(chuàng)新的消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品設(shè)計(jì)解析

MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)，是利用微米級(jí)立體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)感應(yīng)和執(zhí)行功能的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。其中，微米級(jí)立體結(jié)構(gòu)是利用被稱(chēng)為...
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利用MEMS構(gòu)建多信道可調(diào)色散補(bǔ)償儀

在高速DWDM系統(tǒng)中，傳輸信道的色散會(huì)因溫差而產(chǎn)生變化，使得傳統(tǒng)色散補(bǔ)償光纖難于應(yīng)付。本文介紹了一種基于MEMS...
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用可編程模擬電路實(shí)現(xiàn)MEMS陀螺儀測(cè)量系統(tǒng)

LeonFoucault在1852年發(fā)明了世界首個(gè)陀螺儀，這種傳統(tǒng)的機(jī)械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認(rèn)為，利用固定位置上...
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利用MEMS麥克風(fēng)改善移動(dòng)設(shè)備聲學(xué)性能

MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)外形較小，與目前廣泛采用的駐極體麥克風(fēng)相比，具備更強(qiáng)的耐熱、抗振和防射頻干擾性能...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì)：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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