mems壓力傳感器文章進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

復(fù)合式檢測(cè)儀：罐裝液位檢測(cè)、極限液位檢測(cè)和壓力檢測(cè)

三年前，罐裝液位檢測(cè)、極限液位檢測(cè)和壓力檢測(cè)的三重奏首次奏起。在今年的國(guó)際流程設(shè)備自動(dòng)化展覽會(huì)Interkam...
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常見光纖傳感器比較

法布利-比羅特(簡(jiǎn)稱FP)、布拉格光柵(簡(jiǎn)稱FBG)和熒光式光纖傳感器都是當(dāng)前流行，技術(shù)上也比較先進(jìn)的傳感器。因...
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光纖壓力傳感器原理

壓力傳感器的重要傳感元件是法布利-比洛特(FP)型光學(xué)干涉儀。干涉儀的兩面鏡子分別是位于一端的薄膜內(nèi)表面...
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傳感技術(shù)的進(jìn)步簡(jiǎn)化了機(jī)器人設(shè)計(jì)制造過程

過去，機(jī)器人制造是一個(gè)非常困難、容易出錯(cuò)且耗時(shí)的過程，因?yàn)椴捎糜煞至⒃?gòu)成的裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境的感應(yīng)，而這些...
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霍爾傳感元器件及其應(yīng)用

霍爾器件是一種基于霍爾效應(yīng)的磁傳感器,已發(fā)展成一個(gè)品種多樣的磁傳感器產(chǎn)品族，并已得到廣泛的應(yīng)用。本文簡(jiǎn)...
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電量隔離傳感器工作原理簡(jiǎn)介

一、概述電量隔離傳感器/變送器是針對(duì)工程中的電量檢測(cè)(監(jiān)測(cè))，提高系統(tǒng)的整體抗干擾能力，而研制開發(fā)的一種...
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新型車用傳感器及發(fā)展趨勢(shì)解析

一、前言汽車傳感器作為汽車電子控制系統(tǒng)的重要信息源，對(duì)溫度、壓力、位置、轉(zhuǎn)速、加速度和振動(dòng)等各種信息...
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危險(xiǎn)區(qū)域的傳感器

在全球范圍內(nèi)，隨著技術(shù)的廣泛應(yīng)用和越來越先進(jìn)，關(guān)鍵過程控制設(shè)備的關(guān)注點(diǎn)正在發(fā)生變化。傳感器遍布于我們的...
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汽車傳感器應(yīng)用的關(guān)注焦點(diǎn)

許多年來，用于測(cè)量壓力、溫度和加速度等量值的傳感器一直是汽車電子的主角。但大量需要具備此類功能的系統(tǒng)，諸...
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CCD傳感器及其應(yīng)用研究

一、引言圖像傳感器是利用光電器件的光一電轉(zhuǎn)換功能，將其感光面上的光像轉(zhuǎn)換為與光像成相應(yīng)比例關(guān)系的電信...
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各種傳感器相關(guān)知識(shí)

google_protectAndRun(ads_core.google_render_ad,google_handleError,google_render_ad);一、溫度傳...
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熱電偶的應(yīng)用原理

熱電偶是工業(yè)上最常用的溫度檢測(cè)元件之一。其優(yōu)點(diǎn)是：①測(cè)量精度高。因熱電偶直接與被測(cè)對(duì)象接觸，不受中間介...
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濕度傳感器分類選擇

近年來，國(guó)內(nèi)外在濕度傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長(zhǎng)足進(jìn)步。濕敏傳感器正從簡(jiǎn)單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)...
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淺談傳感器的現(xiàn)狀以及發(fā)展趨勢(shì)

1引言在信息化社會(huì)，幾乎沒有任何一種科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用能夠離得開傳感器和信號(hào)探測(cè)技術(shù)的支持。生活在...
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霍爾電流電壓傳感器的工作原理

直測(cè)式霍爾電流傳感器原邊電流Ip產(chǎn)生的磁通量聚集在磁路中，并由霍爾器件檢測(cè)出霍爾電壓信號(hào)，經(jīng)過放大器放大，...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì)：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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