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中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設備Prismo HiT3
- 中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD設備,主要用于深紫外LED量產(chǎn)。中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數(shù)領先的藍綠光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產(chǎn)品。該設備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備,反應腔最高溫度可達1400度,具有優(yōu)異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產(chǎn)量而設計,單爐可生長18片2英寸
- 關鍵字: 中微公司 深紫外 LED MOCVD
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