進(jìn)口無油真空泵在干蝕刻工藝中的應(yīng)用

隨著工業(yè)的發(fā)展壯大，越來越多的企業(yè)對真空泵的需求也越來越大，相對于國外的真空泵廠家，國內(nèi)的真空泵生產(chǎn)水平也越來越高，真空泵的競爭越來越大。本文想要介紹一下進(jìn)口無油真空泵，所謂無油是指在泵腔內(nèi)不使用油類和液體，而傳動的齒輪和軸承還需要油類潤滑，只是油蒸氣不允許進(jìn)入泵的吸氣口。我們一起來研究一下無油真空泵在干蝕刻工藝中的應(yīng)用。

蝕刻工藝可分為鋁質(zhì)金屬蝕刻、多晶矽類的蝕刻、氧化膜的蝕刻等，金屬類的蝕刻會產(chǎn)生大量反應(yīng)副產(chǎn)物，對真空泵的負(fù)荷會很大。

多晶矽膜、氧化矽膜等的蝕刻使用CF₄，HBr，SF₆等氣體，反應(yīng)副產(chǎn)物較少，升華溫度較低，可以氣態(tài)形式排出泵外。鋁質(zhì)金屬的蝕刻則使用三氯化硼等氯化氣體，會產(chǎn)生大量的四氯化鋁，升華溫度高，很容易附著在溫度低的部位，未發(fā)生反應(yīng)的氣體又多半屬于腐蝕性較強的。在鈦的蝕刻中常使用氟化系氣體，其特性類似于氯化系氣體。

干蝕刻生產(chǎn)中多用到氟、氯、溴化物系等腐蝕性較強的氣體，這些氣體與水結(jié)合變成強酸，有強烈腐蝕性。因此，要求泵和管道材料具有高度耐腐蝕性能。

意大利無油真空泵優(yōu)于其油基泵的優(yōu)勢

大多數(shù)類型的真空泵使用油來潤滑密封件，這種油具有相當(dāng)大的缺點。它會導(dǎo)致油霧的形成，這對泵的維護(hù)提出了挑戰(zhàn)。這個問題的最佳解決方案是使用粗加工或前線陷阱來減少或消除回流油。無論這種措施如何，如果油通過捕集器的系統(tǒng)側(cè)，它就會成為蒸汽源，不能防止其進(jìn)入系統(tǒng)。另一方面，在進(jìn)行簡單維護(hù)時，例如在通過需要額外清潔檢查油是否通過時，油阱使其更加困難。無油真空泵 開發(fā)是為了通過徹底消除石油來克服油基泵所面臨的挑戰(zhàn)。

無油真空泵是環(huán)保的，不會造成油污染。它消除了煩人的氣味以及廢油去除的麻煩和成本。通常，無油泵更有效，更靈活和可靠。它們具有更高的前線壓力，通過實現(xiàn)比機械泵更高的真空度來改善其性能。通過采用無油機器，節(jié)省購買油過濾配件，特殊油和疏水閥的成本。

油基泵通常需要定期維護(hù)和注意，并經(jīng)常遇到速度損失。另一方面，無油真空泵始終始終全速運轉(zhuǎn)。他們可以在不需要檢查或維護(hù)的情況下提供數(shù)千個服務(wù)時間。

在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達(dá)不到抽真空的要求，就會達(dá)不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。最后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質(zhì)才能滿足需求。

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