“2021(十三屆)傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國際研討會(暨成果展)”在廈門海滄融信華邑酒店成功召開

11月18-19日，由中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國電子學(xué)會傳感與微系統(tǒng)技術(shù)分會主辦，北京賽微電子股份有限公司協(xié)辦,由廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司、上海龍媒商務(wù)咨詢有限公司承辦的“2021(十三屆)傳感器與MEMS產(chǎn)業(yè)化技術(shù)國際研討會(暨成果展)”簡稱“MEMS國際會議”在廈門海滄融信華邑酒店成功舉辦。

     中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任，大會主席李昕欣教授主持了開幕式。參會嘉賓來自MEMS產(chǎn)業(yè)鏈上下游的知名企業(yè)、投資機(jī)構(gòu)、科、研、院所，高校、政府機(jī)構(gòu)及行業(yè)協(xié)會等。

中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)

 聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任,大會主席李昕欣 

     本屆會議共邀請到來自海內(nèi)外三十多位知名專家和企業(yè)家代表以線上線下結(jié)合的方式發(fā)表了精彩的演講，分別來自中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室教授大會主席李昕欣、東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任教授會議共主席黃慶安、廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司董事總經(jīng)理王匯聯(lián)、萬物云CTO首席科學(xué)家丁險(xiǎn)峰、北京賽微電子股份有限公司董事長楊云春、麥姆斯咨詢創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官王懿、蘇州光舵微納科技股份有限公司董事長史曉華、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司銷售經(jīng)理楊敬山、博世（中國）投資有限公司產(chǎn)品營銷經(jīng)理杜鑌、美新半導(dǎo)體有限公司產(chǎn)品及市場總監(jiān)武儀、意發(fā)薄膜科技(上海)有限公司技術(shù)市場經(jīng)理陸原、德國海德堡儀器公司/MLA300產(chǎn)品經(jīng)理/保羅菲利浦博士、英飛凌科技（中國）有限公司大中華區(qū)市場經(jīng)理胡東寧、漢威科技集團(tuán)/鄭州煒盛電子科技有限公司上海研發(fā)中心常務(wù)副總經(jīng)理李威博士、 武漢敏聲新技術(shù)有限公司首席技術(shù)官兼副總經(jīng)理孫博文、通用微（深圳）科技有限公司首席執(zhí)行官王云龍、上海邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司總經(jīng)理顧杰斌、愛發(fā)科(蘇州)技術(shù)研究開發(fā)有限公司MEMS項(xiàng)目負(fù)責(zé)人/高級研究員岳磊、日本東北大學(xué)教授會議共主席田中秀治、上海微技術(shù)工業(yè)研究院(SITRI)高級副總裁曾淼、歌爾微電子股份有限公司研發(fā)總監(jiān)王德信、北京大學(xué)教授郝一龍 、浙江大學(xué)教授,浙江大學(xué)生物傳感器國家專業(yè)實(shí)驗(yàn)室主任/生物醫(yī)學(xué)工程教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任王平、上海迷思科技有限公司CEO倪藻、紹興中芯集成電路制造股份有限公司執(zhí)行總監(jiān)單偉中、西北工業(yè)大學(xué)教授常洪龍、清華大學(xué)教授劉澤文、深迪半導(dǎo)體(紹興)有限公司MEMS部門高級經(jīng)理張陳晨、新加坡國立大學(xué)GlobalFoundries特聘教授新加坡國立大學(xué)智能傳感器和 MEMS 中心主任李正國、上海韋爾半導(dǎo)體股份有限公司整合高級經(jīng)理趙成龍、克里斯沃爾漢泛林公司/高級應(yīng)用經(jīng)理、北京航空航天大學(xué)教授蔣永剛等。

廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司

董事總經(jīng)理王匯聯(lián)

  王匯聯(lián)發(fā)表了以《問題導(dǎo)向——探尋中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展之路》為主題的演講。王匯聯(lián)指出，新冠疫情蔓延對全球的影響非常大，暴露了全球脆弱的產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈，不過從另一個(gè)方面來說，讓老百姓普遍認(rèn)識到半導(dǎo)體是一個(gè)關(guān)乎經(jīng)濟(jì)、工業(yè)和國家安全的產(chǎn)業(yè)。

“從國際發(fā)展形勢來看，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈面臨較大的不確定性，產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈重新洗牌，新冠疫情加快了這一步伐。王匯聯(lián)表示：“半導(dǎo)體主要的經(jīng)濟(jì)體國家基本上都在構(gòu)建各自的安全邊際,例如美國大力尋求制造業(yè)回歸?！睂τ谥袊雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況,王匯聯(lián)指出，我國雖然已成為了全球最大的芯片市場之一,經(jīng)濟(jì)總量也排到了全球第二。但真正形成創(chuàng)新能力到科技強(qiáng)國的路很漫長?！?span style="margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; max-width: 100%; box-sizing: border-box !important; word-wrap: break-word !important; text-indent: 32px;">他在會上指出，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，我們最大的軟肋是缺乏與國情相符的支撐半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的方式方法,特別是地方政府層面。

萬物云首席科學(xué)家丁險(xiǎn)峰

     丁險(xiǎn)峰以“工業(yè)4.0時(shí)代的基礎(chǔ)設(shè)施”為題，給大家分享了物聯(lián)網(wǎng)和互聯(lián)網(wǎng)區(qū)別與應(yīng)用，物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的主旋律將是傳感器作為硬件，人工智能作為軟件的交替上升的過程。當(dāng)每一個(gè)物體通過傳感器連接到了互聯(lián)網(wǎng)上，并且通過人工智能的處理，很多機(jī)器可以自主決策了，那么每個(gè)物體就成為互聯(lián)網(wǎng)的一個(gè)活體，蘇醒了。人工智能的主要方向是：計(jì)算機(jī)視覺，語音識別，自然語言理解。那么人工智能如何應(yīng)用到萬億的傳感器網(wǎng)絡(luò)上呢？傳感器的應(yīng)用的算法可以分成三層：信號處理，模式識別，語義理解。過去20年是PC互聯(lián)網(wǎng)的10年和移動互聯(lián)網(wǎng)的10年，未來10年是產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)的10年，產(chǎn)業(yè)互聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)設(shè)施是物聯(lián)網(wǎng)，是把物理世界映射到數(shù)字世界，從而改造物理世界的運(yùn)營效率。

北京賽微電子股份有限公司董事長楊云春

     楊云春以“建設(shè)全球化布局的MEMS先進(jìn)代工服務(wù)平臺” 為題，在會上提到“從MEMS的發(fā)展歷程來看，從九十年代的1.0到未來的3.0， 每個(gè)歷史階段在各個(gè)領(lǐng)域都有更廣闊的應(yīng)用，例如汽車、智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備等用到了MEMS傳感器。隨著5G通信、人工智能等技術(shù)的發(fā)展，MEMS傳感器的發(fā)展前景廣闊。與此同時(shí)也產(chǎn)生了對應(yīng)的“定制化”工藝制造技術(shù)，對MEMS芯片代工制造企業(yè)提出了新的挑戰(zhàn)。賽微電子基于20年的工藝開發(fā)及制造實(shí)驗(yàn)積累，逐步形成了大規(guī)模的工藝制造體系。

      楊總表示,“賽微電子自2016年收購瑞典Silex以來，大力支持他們的發(fā)展，2019和2020年,Silex在全球MEMS純晶圓代工排名中均居首位。Silex的晶圓代工能力由原來的3000片/月增加到目前的8000片/月，且良率非常飽滿?！迸c此同時(shí)，賽微電子位于北京的制造基地也于今年6月實(shí)現(xiàn)正式生產(chǎn)，一期產(chǎn)能為1萬片/月，今年下半年計(jì)劃實(shí)現(xiàn)一期50%的產(chǎn)能，即月產(chǎn)5000片晶圓，2022年實(shí)現(xiàn)一期100%的產(chǎn)能，即月產(chǎn)1萬片晶圓。

麥姆斯咨詢創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官王懿

     王懿以“傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及思考”為題，重點(diǎn)給大家分享了人類為了從外界獲取信息，必須借助于感覺器官。人類依靠這些器官接受來自外界的刺激，再通過大腦分析判斷，發(fā)出命令而動作。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和人類社會的進(jìn)步，人類發(fā)明各種傳感器以延伸人類感官，賦能各種裝置及機(jī)器人。本報(bào)告闡述傳感器發(fā)展歷程及產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀，重點(diǎn)介紹固態(tài)型傳感器（包括MEMS和CMOS兩大類），并提出關(guān)于智能和仿生的一些思考。

蘇州光舵微納科技股份有限公司董事長史曉華

      史曉華以題為“量產(chǎn)型納米壓印技術(shù)及其在MEMS器件中的應(yīng)用”重點(diǎn)介紹了納米壓印技術(shù)作為21世紀(jì)新興戰(zhàn)略技術(shù)，是微納制造技術(shù)的一個(gè)重要組成部分，該技術(shù)克服了光刻技術(shù)中由于衍射導(dǎo)致的分辨率限制，具有超高分辨率、易量產(chǎn)、低成本、一致性高的優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于LED照明、平板顯示、生物技術(shù)、太陽能電池、光學(xué)等領(lǐng)域。NIL技術(shù)是微納加工領(lǐng)域的一項(xiàng)關(guān)鍵底層技術(shù)，在國際半導(dǎo)體藍(lán)圖（ITRS）中，該技術(shù)被列為下一代半導(dǎo)體加工技術(shù)的重要代表之一。光舵微納作為專注于納米壓印技術(shù)的一家科技型企業(yè)，經(jīng)過多年的研發(fā)積累及市場推廣，獲得了從設(shè)備，工藝至耗材的完整技術(shù)方案，具有多款納米壓印設(shè)備及多型號納米壓印耗材，在多個(gè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了量產(chǎn)應(yīng)用。本報(bào)告將描述光舵微納量產(chǎn)型納米技術(shù)及此類技術(shù)在MEMS器件中的新型應(yīng)用。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司

銷售經(jīng)理楊敬山

      楊敬山以題為“MEMS“芯”機(jī)遇與北方華創(chuàng)解決方案”重點(diǎn)講到MEMS是連接物理世界與信息世界的橋梁，是IOT、AI、AR/VR等領(lǐng)域的基石，在21世紀(jì)有著廣泛的應(yīng)用前景，正在迎來發(fā)展高峰。本報(bào)告分析不同類型MEMS的典型器件和技術(shù)趨勢，并給出北方華創(chuàng)的解決方案。北方華創(chuàng)主營半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產(chǎn)業(yè)制造基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。

博世(中國)投資有限公司

產(chǎn)品營銷經(jīng)理杜鑌

      杜鑌以"智能MEMS傳感器的發(fā)展與人工智能”為題，

在會上介紹，博世的MEMS技術(shù)開始較早，最開始是用汽車領(lǐng)域，例如汽車安全氣囊和汽車穩(wěn)定系統(tǒng)，大概在2000年開始進(jìn)入消費(fèi)電子領(lǐng)域尤其是手機(jī)領(lǐng)域。

      “各種傳感器的應(yīng)用提升了生活的品質(zhì)。”杜鑌說道?！拔阌怪靡?，未來的傳感器將具備更多的學(xué)習(xí)能力，變得更加智能?！辈贿^需要注意的是，從用戶體驗(yàn)角度來講，如果將所有數(shù)據(jù)都放在云端進(jìn)行處理的話，不僅功耗問題需要解決，同時(shí)還會出現(xiàn)數(shù)據(jù)延遲、數(shù)據(jù)隱私泄露等一系列問題。

美新半導(dǎo)體(天津)有限公司

產(chǎn)品及市場總監(jiān)武儀

      武儀以題為“集成單芯片MEMS在移動物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的優(yōu)勢”重點(diǎn)給大家介紹了在萬物互聯(lián)的時(shí)代，移動物聯(lián)網(wǎng)（IoMT）的應(yīng)用呈爆發(fā)式增長。美新半導(dǎo)體的技術(shù)專家發(fā)表了主題為“The advantage of integrated MEMS to enable the IoMT (集成單芯片MEMS在移動物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的優(yōu)勢)”的英文演講，介紹了移動物聯(lián)網(wǎng)的各種應(yīng)用場景，分享了目前先進(jìn)的單集成芯片MEMS傳感器架構(gòu)及美新半導(dǎo)體在移動物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)優(yōu)勢。

意發(fā)薄膜科技(上海)有限公司

技術(shù)市場經(jīng)理陸原博士

      陸博士，以“向前一大步：Evatec的壓電材料先進(jìn)PVD工藝”為主題，為了滿足壓電MEMS器件越來越高的應(yīng)力以及精度的要求，以及薄膜更高的電學(xué)性能，對薄膜生長需要達(dá)到的技術(shù)參數(shù)提出了相當(dāng)高的要求。Evatec作為有70余年底蘊(yùn)的PVD設(shè)備解決方案提供商，由科學(xué)家和高級工程人員和量產(chǎn)客戶一起，從硬件和工藝出發(fā)挑戰(zhàn)等離子磁控濺射的極限。此次介紹的CLN200E的新平臺上，掛載最新的單一工藝腔，可以達(dá)到更高的精度，應(yīng)力和電學(xué)性能，且相關(guān)組件已經(jīng)受到國際主流客戶的認(rèn)可參與量產(chǎn)。Evatec希望通過我們的技術(shù)解決方案，為您的器件提供更好的性能，一起塑造未來.

德國海德堡儀器公司

MLA300產(chǎn)品經(jīng)理/保羅菲利浦博士

   保羅菲利浦博士講到，在過去的二十年里，激光直接成像(LDI)系統(tǒng)已經(jīng)改變了印刷電路板（PCB）的制造，從傳統(tǒng)的基于薄膜的光刻技術(shù)發(fā)展到無掩膜系統(tǒng)。在這段時(shí)間里，LDI系統(tǒng)在更高的產(chǎn)量、更精細(xì)的亞10um分辨率、自動失真補(bǔ)償和無需操作員干預(yù)的全過程自動化方面取得了巨大的進(jìn)步。激光直接成像（LDI）系統(tǒng)降低了成本，同時(shí)給予印刷電路板制造商更大的靈活性。在傳感器和MEMS領(lǐng)域，標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)方法是基于掩膜光刻的標(biāo)準(zhǔn)硅制造技術(shù)。然而，由于許多感測組件和傳感器并非基于單晶硅，因此也存在局限性和缺點(diǎn)。

海德堡儀器公司將激光直接成像（LDI）的理念應(yīng)用于高分辨率生產(chǎn)應(yīng)用，開發(fā)了MLA300工業(yè)級無掩膜光刻機(jī)。MLA300為1um規(guī)模的生產(chǎn)帶來了靈活性和產(chǎn)量改進(jìn)，直接從設(shè)計(jì)到曝光可節(jié)省掩膜生產(chǎn)以及時(shí)間成本。為了降低成本，某些傳感器是在低成本燒結(jié)陶瓷基板上生產(chǎn)的。它們表現(xiàn)出顯著的厚度變化，高達(dá)50 um/in2。隨著全球聚焦光刻系統(tǒng)，這些厚度變化限制了可實(shí)現(xiàn)的分辨率和保真度?；宓母鱾€(gè)部分總是暴露在焦點(diǎn)之外，海德堡儀器MLA300跟蹤自動對焦系統(tǒng)補(bǔ)償高達(dá)200um的表面形貌，大大提高了均勻性和產(chǎn)量。

此應(yīng)用程序的主要優(yōu)點(diǎn)是MLA300「動態(tài)掩碼」的靈活性.它允許對基板和設(shè)備進(jìn)行定制，無需花費(fèi)時(shí)間或成本，例如為每個(gè)設(shè)備添加唯一的序列號，以便進(jìn)行校準(zhǔn)跟蹤和批量質(zhì)量監(jiān)控。在考慮全掩膜管理成本時(shí)，成本優(yōu)勢是最重要的，特別是對于低容量的遺留產(chǎn)品。有了MLA300，傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)可以不費(fèi)吹灰之力就暴露出來.MLA300將海德堡儀器的靈活性、光刻品質(zhì)、定位精度和易用性等優(yōu)點(diǎn)結(jié)合到一個(gè)系統(tǒng)中，并對工業(yè)生產(chǎn)進(jìn)行了進(jìn)一步優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了最高的吞吐量、穩(wěn)定性和模塊化配置，和全自動化能力，同時(shí)最大限度地降低總擁有成本低磨損，長壽命的組件和無耗材。

英飛凌科技(中國)有限公司

大中華區(qū)市場經(jīng)理胡東寧

     胡東寧以題為“MEMS 傳感器在汽車工業(yè)中的應(yīng)用”英飛凌是一家全球排名前十的半導(dǎo)體公司，主營業(yè)務(wù)是汽車半導(dǎo)體芯片、電源管理、傳感器等。英飛凌在MEMS傳感器領(lǐng)域主要有四大類別產(chǎn)品，一是傳統(tǒng)的集成式壓力傳感器；二是測向、行人保護(hù)傳感器；三是壓力傳感器在汽車上兩個(gè)新的應(yīng)用方向，即座椅和電池包壓力傳感器；四是麥克風(fēng)。值得一提的是，英飛凌今年發(fā)布了全球第一款車規(guī)級麥克風(fēng)，相較于非汽車麥克風(fēng)，該款產(chǎn)品是根據(jù)AECQ103標(biāo)準(zhǔn)做的認(rèn)證規(guī)范，并且工作范圍能夠達(dá)到105°。

      以壓力傳感器在汽車上兩個(gè)新的應(yīng)用方向?yàn)槔?。在座椅傳感器方面，胡東寧指出，以往智能座椅在高端車上才會使用，現(xiàn)在20多萬的車的座椅也會帶有按摩等功能。隨著汽車向智能化方向發(fā)展，越來越多的汽車廠商智能座艙作為賣點(diǎn)。另外在電池包壓力傳感器方面，外力作用下的機(jī)械沖擊和過充都會導(dǎo)致電池包失效從而會起煙或起火，相關(guān)規(guī)定要求在電動車起火的前5分鐘給客戶一個(gè)安全提醒，對檢測速度要求很高，相關(guān)傳感器的需求隨之而來。

漢威科技集團(tuán)/鄭州煒盛電子科技有限公司

上海研發(fā)中心常務(wù)副總經(jīng)理李威博士

      李威博士以“MEMS氣體傳感器在車用AQS中的應(yīng)用”為主題，車用AQS使用MEMS氣體傳感器感知車廂外的空氣質(zhì)量，如擁堵時(shí)或隧道中外部車輛排放的尾氣，當(dāng)外部空氣質(zhì)量惡化時(shí)通過關(guān)閉空調(diào)進(jìn)氣口來阻止污染的空氣進(jìn)入車廂，從而控制車廂內(nèi)的空氣質(zhì)量。本報(bào)告介紹AQS的基本原理，MEMS傳感器在AQS應(yīng)用中面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)，以及未來的發(fā)展趨勢。

武漢敏聲新技術(shù)有限公司首席技術(shù)官

兼副總經(jīng)理孫博文

       孫博文以“RF MEMS射頻諧振器和濾波器研究現(xiàn)狀與進(jìn)展”為主題，目前,5G已經(jīng)成為世界各國移動通信領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，我國經(jīng)歷1G“空白”、2G“跟隨”、3G“突破”、4G“同步”。但是濾波器一直進(jìn)展緩慢，這方面技術(shù)被國外壟斷，甚至被納入國家卡脖子技術(shù)之一。尤其在5G移動通信系統(tǒng)中一個(gè)亟待解決的關(guān)鍵技術(shù)是高頻率、大帶寬、低損耗、小溫漂系數(shù)、大功率容量以及高度集成的高性能射頻元器件技術(shù)，該技術(shù)直接影響了5G通信技術(shù)的發(fā)展，需要從高性能射頻聲波材料以及元器件設(shè)計(jì)方面著力突破。以目前最先進(jìn)的濾波器， 分為SAW （聲表面波）和BAW（體聲波）兩種技術(shù)，屬于一種稱之為MEMS （微機(jī)電子系統(tǒng)）的復(fù)合型領(lǐng)域。其設(shè)計(jì)，工藝難度和門檻都極高。這技術(shù)必須具備對CMOS半導(dǎo)體工藝用來生產(chǎn)，搭配特殊材料壓電氮化鋁薄膜及其Sc摻雜薄膜材料來完成器件的集成。這些材料具備完美的壓電和聲學(xué)特性，其極高的聲速、高機(jī)械品質(zhì)因子和適當(dāng)?shù)臋C(jī)電耦合系數(shù)是制備5G時(shí)代射頻濾波器的最佳原材料。我們在這演講會涵蓋目前這技術(shù)的現(xiàn)狀以及發(fā)展的趨勢。

通用微(深圳)科技有限公司首席執(zhí)行官王云龍

     王云龍演講題目“減振硅麥 – 語音傳感的新突破”重點(diǎn)講到長期以來，聲傳感一直是一個(gè)研究課題。麥克風(fēng)通常用于檢測聲音振動。一般來說，人們會認(rèn)為麥克風(fēng)只能拾取聲音信號。然而，在現(xiàn)實(shí)中，麥克風(fēng)也會拾取通過其機(jī)械結(jié)構(gòu)傳導(dǎo)的振動，從而影響有用聲音和音樂信號的檢測。減振麥克風(fēng)能夠消除通過麥克風(fēng)殼體傳導(dǎo)的結(jié)構(gòu)振動，從而增強(qiáng)有用聲音和音樂信號的拾取。

上海邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司總經(jīng)理顧杰斌

       顧杰斌演講題目“μCasting? Solenoid線圈的產(chǎn)品應(yīng)用”螺線線圈在工業(yè)上有著的非常廣泛的應(yīng)用。作為一種復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)，目前螺線線圈幾乎都是由漆包線繞成?；谖C(jī)電鑄造技術(shù)的μCasting? Solenoid線圈，可以靈活的在硅晶圓上批量實(shí)現(xiàn)各種線圈的制造。μCasting? Solenoid線圈可應(yīng)用于需要微型化線圈的領(lǐng)域，例如作為執(zhí)行器的微型電磁鐵和馬達(dá)，作為傳感器的磁通門線圈，作為能量傳感的功率電感或者片上變壓器，甚至微形發(fā)電機(jī)等。相對于漆包線繞制的線圈，μCasting? Solenoid線圈具有更容易實(shí)現(xiàn)例如U形或者O形(Toridial)的線圈結(jié)構(gòu)，并且因?yàn)槭枪杌乃韵鄬碚f更容易做集成，此外線圈的電感值一致性也更好等優(yōu)點(diǎn)。

愛發(fā)科(蘇州)技術(shù)研究開發(fā)有限公司

MEMS項(xiàng)目負(fù)責(zé)人高級研究員岳磊

      岳磊以“物聯(lián)網(wǎng)/5G時(shí)代的壓電薄膜制造技術(shù)”為主題，智能信息通信技術(shù)（Smart ICT）如大數(shù)據(jù)，云計(jì)算以及內(nèi)嵌了多功能MEMS/sensors的智能系統(tǒng)正逐步實(shí)現(xiàn)以物聯(lián)網(wǎng)及5G通訊為特點(diǎn)的全面智能時(shí)代。人類的智能社會的存在離不開高密度，低能耗，寬帶寬，執(zhí)行快的半導(dǎo)體器件的發(fā)展，此外，異質(zhì)集成以及CMOS-MEMS技術(shù)的發(fā)展同樣十分關(guān)鍵。在半導(dǎo)體制造過程中，薄膜處理技術(shù)是一項(xiàng)關(guān)鍵組成部分。而先進(jìn)的，次世代的器件，針對尺寸與性能的權(quán)衡比以往更加重要，因此對薄膜及其處理技術(shù)有了更高的要求。薄膜壓電材料憑借其出色的綜合性能，被認(rèn)為是適用于物聯(lián)網(wǎng)及5G應(yīng)用的優(yōu)秀候選方案。近年來，陸續(xù)出現(xiàn)了采用PZT，AlN, ScAlN等薄膜材料的MEMS及RF MEMS產(chǎn)品，其市場體量正在逐年增加，吸引了更多關(guān)注及期待。本報(bào)告將講述ULVAC在壓電薄膜材料處理技術(shù)上的最新研發(fā)成果，同時(shí)還將對壓電MEMS以及RF器件的制造解決方案進(jìn)行介紹.