美泰電子RF MEMS 器件

美泰電子科技有限公司

美泰電子科技有限公司是中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位。專門致力于MEMS（微電子機械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。是國內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，中國MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。主要產(chǎn)品有MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS測試測量傳感器、MEMS壓力傳感器芯片、汽車MEMS傳感器、射頻（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。      
    

公司擁有國際先進水平的6英寸MEMS工藝線和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測試標(biāo)定設(shè)備，是國家高新技術(shù)企業(yè)、科技部重大科學(xué)儀器專項資助單位。

特點

硅腔體結(jié)構(gòu)，體積超小
高功率容量

50Ω微帶共面波導(dǎo)輸出，鍵合使用

頻率：12~40GHz
MEMS工藝，精度高，一致性好
可按要求加工定制
 

環(huán)境參數(shù)

工作溫度：-55~+85°C

儲存溫度：-55~+125°C

典型應(yīng)用

雷達、航天航空、微波通信

特點：

硅腔體結(jié)構(gòu)，體積超小
高功率容量

50Ω微帶/共面波導(dǎo)輸出，鍵合使用
頻率:12～40GHz

MEMS工藝，精度高，一致性好
可按要求加工定制

環(huán)境參數(shù)
工作溫度:-55+85°C

儲存溫度:-55+125°C

典型應(yīng)用
雷達、航天航空，微波通信 

特點：
硅基MEMS工藝，體積小、重量輕

頻率:2～50GHz

高性能、全屏廠、抗干擾、微波性能好

裸芯片，50Ω共面波導(dǎo)輸出，鍵合使用

帶通、帶阻、低通、高通
指標(biāo)一致性好，適合批產(chǎn)

環(huán)境參數(shù)
工作溫度:-55~+85°C
貯存溫度:-55～+125°C

平均功率：≤3W（連續(xù)波）

典型應(yīng)用
雷達、航天航空，電子系統(tǒng)

特點：

硅基MEMS微納米技術(shù)
命體積小、成本低
加厚介質(zhì)膜工藝，防靜電能力強、可靠性高

可鍵合、表貼使用，滿足用戶不同安裝要求
加工周期短，部分取代LTCC產(chǎn)品
較MMIC產(chǎn)品有更高Q值 

環(huán)境參數(shù)
工作溫度:-55～+85°C
貯存溫度:-55～+125°C
平均功率:1Wmax@25°C
 
電性能規(guī)范
中心頻率:0.5-20GHz
健合型微集成LC法
1db分數(shù)帶寬:10-100%
VSWR: 16.1 :1
特性阻抗:50Ω

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