10張高清大圖！讀懂十大國(guó)產(chǎn)MEMS廠(chǎng)商技術(shù)路線(xiàn)

在3月初舉辦的2023年中國(guó)MEMS制造大會(huì)（China MEMS 2023）上，公布了“2021中國(guó)MEMS十強(qiáng)企業(yè)”名單。該名單由中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)根據(jù)行業(yè)季度統(tǒng)計(jì)報(bào)表及各地方協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)評(píng)選出。

今天我們就借用智慧芽研發(fā)情報(bào)庫(kù)，從技術(shù)研發(fā)的角度分析下這十家中國(guó)MEMS頭部企業(yè)各自的技術(shù)發(fā)展路線(xiàn)。（文章內(nèi)企業(yè)排名不分先后）

一、歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2017年，前身為歌爾股份有限公司微電子事業(yè)群，2021年變更為歌爾微電子股份有限公司。該公司是一家以MEMS器件及微系統(tǒng)模組研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售為主的半導(dǎo)體公司，業(yè)務(wù)涵蓋芯片設(shè)計(jì)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、封裝測(cè)試和系統(tǒng)應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，可為客戶(hù)提供“芯片+器件+模組”的一站式產(chǎn)品解決方案。

從技術(shù)上看，歌爾微電子近幾年的技術(shù)主要布局于傳感器、麥克風(fēng)、壓電陶瓷、聲能轉(zhuǎn)換等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高M(jìn)EMS麥克風(fēng)信噪比、改善MEMS麥克風(fēng)聲學(xué)性能、實(shí)現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)定位功能等。   

二、瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司

瑞聲科技成立于1993年，在聲學(xué)、光學(xué)、觸感、傳感器及半導(dǎo)體、精密制造等領(lǐng)域擁有強(qiáng)大的綜合競(jìng)爭(zhēng)力，致力于為智能設(shè)備提供領(lǐng)先的微型專(zhuān)有技術(shù)解決方案，在聲學(xué)、光學(xué)、觸覺(jué)反饋、精密制造、微機(jī)電、無(wú)線(xiàn)射頻和天線(xiàn)領(lǐng)域擁有材料研發(fā)、仿真、算法、設(shè)計(jì)、自動(dòng)化以及工藝開(kāi)發(fā)等尖端技術(shù)。

從技術(shù)上看，瑞聲科技近幾年的技術(shù)主要布局于電聲轉(zhuǎn)換、麥克風(fēng)、發(fā)聲器件、揚(yáng)聲器等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高麥克風(fēng)靈敏度、提升發(fā)聲器件聲學(xué)性能、提高麥克風(fēng)可靠性等。   

三、河北美泰電子科技有限公司

美泰科技成立于2011年，隸屬于大型央企中國(guó)電科，致力于MEMS器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。該公司擁有國(guó)際先進(jìn)的6英寸MEMS工藝線(xiàn)和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測(cè)試標(biāo)定設(shè)備，是國(guó)內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商。旗下產(chǎn)品覆蓋MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS測(cè)試測(cè)量傳感器、汽車(chē)MEMS傳感器、射頻（RF）MEMS器件等。

從技術(shù)上看，美泰科技近幾年的技術(shù)主要布局于傳感器、氣體流量測(cè)量?jī)x器、溫壓復(fù)合傳感器、壓力傳感器等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于致使標(biāo)定時(shí)操作簡(jiǎn)單高效、提高M(jìn)EMS流量傳感器的穩(wěn)定性和可靠性、增加MEMS流量傳感器厚度等。   

四、美新半導(dǎo)體有限公司

美新半導(dǎo)體（MEMSIC）成立于1999年，是中國(guó)最早的IDM模式慣性傳感器供應(yīng)商之一，于2007年在美國(guó)納斯達(dá)克上市，被譽(yù)為全球MEMS第一股。美新半導(dǎo)體致力于提供從MEMS傳感芯片、軟件算法和應(yīng)用方案的一站式解決方案，擁有熱式加速度計(jì)、電容式加速度計(jì)、AMR地磁傳感器、低功耗霍爾開(kāi)關(guān)和六軸IMU等產(chǎn)品。

從技術(shù)上看，美新半導(dǎo)體近幾年的技術(shù)主要布局于半導(dǎo)體封裝、集成式傳感器、磁場(chǎng)傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)器件測(cè)試等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高三軸陀螺儀集成度、使三軸陀螺儀結(jié)構(gòu)整體合理緊湊、提高器件可靠性等。     

五、上海矽睿科技股份有限公司

矽?？萍汲闪⒂?012年，專(zhuān)注于高質(zhì)量傳感器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、以及增值應(yīng)用與服務(wù)，致力于成為以應(yīng)用為導(dǎo)向的多傳感器平臺(tái)。該公司產(chǎn)品包括多款MEMS傳感器，如六軸IMU、加速度計(jì)、環(huán)境傳感器、組合傳感器等；磁性傳感器芯片，如磁力計(jì)、磁編碼器、電流傳感器、霍爾傳感器等；及汽車(chē)與物聯(lián)網(wǎng)智能模組和系統(tǒng)。

從技術(shù)上看，矽?？萍冀鼛啄甑募夹g(shù)主要布局于半導(dǎo)體工藝、電子通訊、磁傳感、健康監(jiān)測(cè)等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高第三軸靈敏度、增強(qiáng)第三軸感應(yīng)能力、提高磁傳感裝置感應(yīng)能力及靈敏度等。       

六、華潤(rùn)微集成電路有限公司

華潤(rùn)微電子是2002年華潤(rùn)集團(tuán)收購(gòu)華晶集團(tuán)改組而成，已成為華潤(rùn)集團(tuán)旗下負(fù)責(zé)微電子業(yè)務(wù)投資、發(fā)展和經(jīng)營(yíng)管理的高科技企業(yè)。該公司產(chǎn)品聚焦于功率半導(dǎo)體、智能傳感器領(lǐng)域，擁有芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試等全產(chǎn)業(yè)鏈一體化運(yùn)營(yíng)能力在分立器件及集成電路領(lǐng)域均已具備較強(qiáng)的產(chǎn)品技術(shù)與制造工藝能力，形成了先進(jìn)的特色工藝和系列化的產(chǎn)品線(xiàn)。

從技術(shù)上看，華潤(rùn)微電子近幾年的技術(shù)主要布局于集成電路設(shè)計(jì)、無(wú)線(xiàn)充電、通信、恒流驅(qū)動(dòng)電源等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高電路可靠性、減小芯片面積、降低芯片成本等。         

七、蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，于2020年8月登陸上海證券交易所科創(chuàng)板，為中國(guó)MEMS芯片第一股。該公司是一家專(zhuān)業(yè)從事微電子機(jī)械系統(tǒng)傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)的高新技術(shù)企業(yè)，主導(dǎo)推動(dòng)了中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈構(gòu)建。敏芯作為中國(guó)最早成立的MEMS研發(fā)公司之一，現(xiàn)已擁有完整的芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝與測(cè)試等全產(chǎn)業(yè)鏈的自主研發(fā)設(shè)計(jì)能力。

從技術(shù)上看，敏芯股份近幾年的技術(shù)主要布局于傳感器、半導(dǎo)體器件制造、麥克風(fēng)、感測(cè)等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高器件良率和可靠性、提高壓力傳感器靈敏度、提高硅麥克風(fēng)靈敏度和信噪比等。           

八、杭州士蘭微電子股份有限公司

士蘭微成立于1997年，是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。2003年，士蘭微股****在上海證券交易所掛牌交易，是第一家在中國(guó)境內(nèi)上市的集成電路芯片設(shè)計(jì)企業(yè)。該公司在多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域保持了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的地位，如綠色電源芯片技術(shù)、MEMS傳感器技術(shù)、LED照明和屏顯技術(shù)、高壓智能功率模塊技術(shù)、第三代功率半導(dǎo)體器件技術(shù)、數(shù)字音視頻技術(shù)等。

從技術(shù)上看，士蘭微近幾年的技術(shù)主要布局于開(kāi)關(guān)電源、半導(dǎo)體制造、光源控制、微麥克風(fēng)等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高器件可靠性、避免MEMS麥克風(fēng)可靠性下降、提高器件耐壓特性等。             

九、西人馬聯(lián)合測(cè)控（泉州）科技有限公司

西人馬聯(lián)合測(cè)控成立于2017年，采用IDM經(jīng)營(yíng)模式，目前生產(chǎn)落地于福建6英寸FAB廠(chǎng)，擁有先進(jìn)的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)能力?；谶@些先進(jìn)的核心技術(shù)，西人馬致力于運(yùn)用先進(jìn)的芯片、傳感器、智能數(shù)據(jù)采集模組提供產(chǎn)品和服務(wù)，立志成為A-IOT時(shí)代的科技引領(lǐng)者和全球最具價(jià)值的A-IoT基礎(chǔ)設(shè)施供應(yīng)商。

從技術(shù)上看，西人馬近幾年的技術(shù)主要布局于傳感器、半導(dǎo)體器件測(cè)試、半導(dǎo)體封裝、發(fā)光二極管等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于提高電荷輸出元件靈敏度、提高結(jié)構(gòu)接觸剛度、提高監(jiān)測(cè)精度等。               

十、蘇州納芯微電子股份有限公司

納芯微電子成立于2013年，是高性能高可靠性模擬芯片的研發(fā)設(shè)計(jì)企業(yè)，致力于為數(shù)字世界和現(xiàn)實(shí)世界的連接提供芯片級(jí)解決方案。2022年，納芯微電子于上海證券交易所科創(chuàng)板上市。該公司聚焦于信號(hào)感知、系統(tǒng)互聯(lián)、功率驅(qū)動(dòng)三大方向，提供傳感器、信號(hào)鏈、隔離、接口、功率驅(qū)動(dòng)、電源管理等豐富的半導(dǎo)體產(chǎn)品及解決方案。

從技術(shù)上看，納芯微電子近幾年的技術(shù)主要布局于傳感器、電子電路、測(cè)試測(cè)量、磁場(chǎng)感測(cè)等細(xì)分技術(shù)領(lǐng)域，致力于降低芯片功耗、提高電路可靠性、降低校準(zhǔn)成本等。               

注：技術(shù)路線(xiàn)圖由智慧芽研發(fā)情報(bào)庫(kù)生成，主要呈現(xiàn)該企業(yè)的代表性技術(shù)成果，不代表企業(yè)全部技術(shù)能力。