荷蘭正式加入美制裁陣營，限制DUV光刻機出口，外交部提出交涉

前言

繼1月美日荷三方會談后，荷蘭首次正式表態(tài)。

當?shù)貢r間3月8日，荷蘭政府以“國家安全”為由，宣布將對包括“最先進的”深紫外光刻機（DUV）在內(nèi)的特定半導體制造設備實施新的出口管制，并加入美國對華芯片出口管制的陣營。

據(jù)路透社消息，這一決定由荷蘭貿(mào)易部長Liesje Schreinemacher在給議會的一封信中宣布，稱限制措施將在夏季之前出臺。

荷蘭貿(mào)易部長Liesje Schreinemacher的會議致函

會議致函中還指出“荷蘭認為有必要以最快的速度對這項技術(shù)進行監(jiān)管，因此荷蘭政府將會盡快出臺一份國家管控清單”。

隨后，光刻機巨頭ASML在3月9日上午發(fā)布聲明表示，ASML預計必須申請許可證方可出口DUV設備。

ASML強調(diào)，新的出口管制措施并不針對所有浸潤式光刻系統(tǒng)，而只涉及所謂“最先進”的浸潤式光刻系統(tǒng)。

截至目前相關(guān)企業(yè)尚未收到有關(guān)“最先進”的確切定義的信息，ASML將其解讀為在資本市場日會議上定義的“關(guān)鍵的浸潤式光刻系統(tǒng)”，即TWINSCANNXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。

對于荷蘭這一決定，中國外交部發(fā)言人毛寧9日在北京舉行的例行記者會上表示，中方對荷方以行政手段干預限制中荷企業(yè)正常經(jīng)貿(mào)往來的行為表示不滿，已向荷方提出交涉。

毛寧強調(diào)，希望荷方秉持客觀公正立場和市場原則，尊重契約精神，不濫用出口管制措施，維護國際產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈穩(wěn)定和自由開放的國際貿(mào)易秩序，維護中荷兩國和雙方企業(yè)共同利益。

01

出口管制后，我們還能買到哪些DUV？

根據(jù)ASML官網(wǎng)公布的產(chǎn)品信息，ASML在售的浸潤式DUV光刻機主要有三大型號：TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:1980Di。

ASML官網(wǎng)公布的在售浸潤式光刻機型號

根據(jù)ASML的解讀，其NXT:2000i及之后的浸沒式光刻系統(tǒng)將會受到出口限制。

也就是說，NXT:1980Di仍將可以出口，即國內(nèi)大量采用NXT:1980Di進行成熟制程制造的晶圓廠將不會受到影響。

但也有內(nèi)部人士稱，允許出口的NXT:1980Di將被限制部分軟硬件性能。

ASML在官網(wǎng)介紹稱，NXT:1980Di的分辨率可以達到≤38nm，每小時可以生產(chǎn)275片晶圓。與NXT:2000i一樣，這種步進式掃描系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級浸沒式光刻工具，專為先進節(jié)點的300mm晶圓批量生產(chǎn)而設計。

據(jù)了解，通過多重曝光，NXT:1980Di依然可以支持7nm左右工藝，如臺積電第一版7nm工藝，但這可能會面臨步驟更復雜、成本更高以及良率損失等問題。鑒于此，目前NXT:1980Di更多還是被用于45nm以下成熟制程的生產(chǎn)。

一位業(yè)內(nèi)人士指出，“可以說NXT:1980Di還能賣，給（國內(nèi)）后續(xù)N+1、N+2工藝留了一口氣?！倍聿┥鐒t認為，如果ASML的說法正確，那么荷蘭的新規(guī)定可能達不到美國對芯片設備行業(yè)施加的限制要求。

此外，據(jù)電巢了解，在荷蘭此次擬定的最新出口管制新規(guī)之前，國內(nèi)已有數(shù)臺NXT 2050i交付。

不過，還有一點疑慮是，若出口管制規(guī)則正式實施，中國此前購買的ASML光刻機，是否還能繼續(xù)接受其相應的售后維護與技術(shù)支持服務？若答案是否定的，那國內(nèi)的先進制程芯片制造短期內(nèi)恐怕不容樂觀。

02

荷蘭傷敵一千自損八百？

此前，2019年ASML最先進的EUV光刻機就已經(jīng)被禁止向中國銷售，荷蘭的EUV已經(jīng)失去中國市場。如今，DUV的銷售也將受到極大限制。

對于荷蘭此次出口管制新規(guī)的影響，ASML方面回應稱，“預計這些措施不會對我們發(fā)布的2023年財務前景，或去年11月投資者日期間宣布的長期展望產(chǎn)生重大影響?！?/span>

但事實上，ASML此前對于出口管制的態(tài)度并不滿意，其CEO溫寧克曾在1月底公開表示，“全球貿(mào)易和出口管制的增加以及對技術(shù)主權(quán)的推動，可能導致全球貿(mào)易、競爭和技術(shù)供應鏈發(fā)生長期變化，這可能對我們的業(yè)務和增長前景產(chǎn)生不利影響?！彼€批評道：“不斷升級的貿(mào)易緊張局勢破壞了全球芯片生態(tài)系統(tǒng)，并警告各國政府不要陷入保護主義。”

溫寧克還表示了自己的擔憂，由于美國去年實施嚴厲的單邊制裁，中國別無選擇，只能打造自己的先進芯片生態(tài)系統(tǒng)。

中國市場對于ASML尤為重要，出口管制的實施，無疑會讓荷蘭的企業(yè)得不償失。

根ASML此前預測，2023年中國的銷售額將保持在22億歐元左右，占ASML總銷售額的18%。

另外值得一提的是，荷蘭一家規(guī)模較小、幾乎與ASML同名的ASM International（ASMI）也將受限。ASMI主要生產(chǎn)用于采用原子層沉積（ALD）技術(shù)芯片的晶圓涂層設備。

ASMI首席財務官Paul Verhagen表示，根據(jù)目前的估計，限制將影響的產(chǎn)品占中國銷售額的七分之一到四分之一，占整個集團銷售額的3%左右。

總 結(jié)

近年來，美國為了將中國半導體制程鎖死在14nm之下，多次向歐洲以及韓國、日本施壓，加入其管制陣營。美日荷三方談判后，荷蘭如今首次披露了相關(guān)協(xié)議細節(jié)，據(jù)悉日本稍后也將跟進，公布其相關(guān)管制政策。

我國芯片行業(yè)發(fā)展正面臨著前所未有的挑戰(zhàn)，但對此，我們繼續(xù)引用ASML CEO溫寧克的話：“如果他們（中國）不能得到這些機器，他們就會自己研發(fā)這些機器。這需要時間，但最終他們會達到目標。”