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Brewer Science發(fā)布新型光感化合物專利 用于MEMS器件制造

作者: 時間:2010-04-27 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

  半導(dǎo)體及微電子市場高新技術(shù)創(chuàng)新公司Brewer Science宣布公司在美國獲得了一項新專利,該專利是關(guān)于一種新型光感化合物,在器件的制造過程中可用作保護層。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/108397.htm


關(guān)鍵詞: 傳感 MEMS

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