Veeco發(fā)表用于生產(chǎn)高亮度 LED的MaxBright GaN MOCVD

　　日前，Veeco發(fā)表一款新型MOCVD產(chǎn)品：TurboDisc MaxBright?氮化鎵(GaN)有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法(MOCVD)多反應(yīng)器系統(tǒng)，用于生產(chǎn)高亮度 LED。

　　Veeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange ?集群架構(gòu)自動(dòng)化技術(shù)在一個(gè)模塊化的兩個(gè)或四個(gè)反應(yīng)器通過(guò)組合高通量金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器。

　　該MaxBright反應(yīng)堆，在K465i的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證，既擴(kuò)大了晶圓的生產(chǎn)能力和，同時(shí)保證了均勻性、重復(fù)性和材料的質(zhì)量。MaxBright MOCVD系統(tǒng)可提供生產(chǎn)能力達(dá)216 × 2”，56 × 4”，24 × 6”或12 × 8”晶圓。此外，無(wú)縫轉(zhuǎn)移MaxBright能使客戶實(shí)現(xiàn)快速生產(chǎn)。