MOCVD國產(chǎn)化之路漫漫

　　天龍光電發(fā)布公告稱，已與華晟光電簽訂合同，共同在常州合資成立獨立法人的中外合資公司，主要從事MOCVD設(shè)備及外延工藝的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、及售后服務(wù)，成為市場關(guān)注的熱點。

　　2011年中國MOCVD增量有望最大 全球巨頭主導(dǎo)MOCVD設(shè)備供應(yīng)

　　2010年全球MOCVD新增安裝量中，韓國增量最多，其次是臺灣地區(qū)。根據(jù)SEMI(國際半導(dǎo)體設(shè)備及材料協(xié)會)統(tǒng)計，中國大陸今年MOCVD新增量在160-180之間，居全球第三。另外，根據(jù)SEMI統(tǒng)計和分析，結(jié)合MOCVD供應(yīng)情況，2011年中國MOCVD新增量份額有望達(dá)到全球的40%，而其它地區(qū)的增量能會保持與2010年相當(dāng)?shù)乃交蛳陆怠?/p>

　　MOCVD作為LED最核心環(huán)節(jié)的外延片生長關(guān)鍵設(shè)備，也是制造環(huán)節(jié)中單項投資最大的設(shè)備。目前可以提供工業(yè)化生產(chǎn)MOCVD設(shè)備制造商有限，集中程度較高，主要在歐美和日本。在全球LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動下，近年來MOCVD的一直處于供應(yīng)緊張的狀態(tài)，設(shè)備到貨期不斷被延長。中國MOCVD的供應(yīng)商主要集中在兩家，美國的Veeco和德國AIXTRON。

　　并不順利的MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化之路 短期內(nèi)難有突破

　　中國MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化之路一直走的并不順利，只能夠生產(chǎn)用于科研的小型MOCVD設(shè)備，目前尚無能夠提供用于成熟工業(yè)化生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備廠家，但是近來有幾家國內(nèi)設(shè)備科研和生產(chǎn)單位給出了設(shè)備國產(chǎn)化的時間表。

　　AIXTRON內(nèi)部人士透露，AIXTRON預(yù)計2011年營收額將達(dá)4.5億歐元(約40.43億元人民幣)，其中中國市場將占其總營收的4成，也就是1.8億歐元(約16.17億元人民幣)。

　　面對如此誘人的數(shù)據(jù)，就不難解釋天龍光電此次在LED外延核心設(shè)備MOCVD上的大動作。不僅僅是天龍光電，近幾年，國內(nèi)已有十幾家公司或機構(gòu)研發(fā)出多臺MOCVD樣機，如中科院半導(dǎo)體所、昭信集團(tuán)與華中科技大學(xué)合作、青島杰生光電和西安電子科技大學(xué)合作，但最后都功虧一簣，大都是推出樣機后便不了了之。2010年1月昭信集團(tuán)MOCVD樣機下線曾鬧得沸沸揚揚，但最終以銷聲匿跡收場。

　　復(fù)旦大學(xué)方志烈教授表示，生產(chǎn)MOCVD設(shè)備不是那么簡單的事情，要不然現(xiàn)在的市場不會僅被AIXTRON和Veeco兩家公司所壟斷。

　　AIXTRON內(nèi)部人士則表示，不會把這些生產(chǎn)MOCVD設(shè)備的公司作為競爭對手。

　　MOCVD 開發(fā)挑戰(zhàn)多 少些炒作多些合作和投入

　　LED外延工藝難度很高，外延薄膜質(zhì)量、工藝均勻性、工藝重復(fù)性的嚴(yán)格要求對外延工藝開發(fā)、MOCVD設(shè)備開發(fā)提出了巨大的挑戰(zhàn)，反應(yīng)腔室氣流場設(shè)計涉及腔室設(shè)計、進(jìn)氣系統(tǒng)設(shè)計、工藝組件設(shè)計、基片旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)設(shè)計、真空系統(tǒng)設(shè)計等多項關(guān)鍵技術(shù)等技術(shù)難度非常高，高溫下的高均勻、高精度加熱控制，同時，多個不同溫度的工藝步驟在同一腔室內(nèi)進(jìn)行，工藝溫度頻繁切換，這些都對加熱系統(tǒng)的設(shè)計提出了巨大挑戰(zhàn)精度控制要求高，且多步工藝在單腔室內(nèi)頻繁切換，對系統(tǒng)的硬件可靠性要求非常高，同時，LED外延工藝開發(fā)資金耗費巨大。

　　如果技術(shù)人員忽悠老板，老板忽悠政府，這是不負(fù)責(zé)任的行為。 更有國內(nèi)知名外延片廠家的負(fù)責(zé)人直言，“我是不看好這個項目，我只會把這類新聞當(dāng)成笑話來看，拿項目經(jīng)費之類的，很多人都是拿這個概念來騙資源。真正做出MOCVD是很難的，這兩年國內(nèi)是做不出來的，至少要到2013年才有可能”

　　盡管業(yè)界對于國產(chǎn)MOCVD的觀點不盡相同，但如果像天龍光電這樣的上市公司能夠按照規(guī)劃進(jìn)度開發(fā)出適合市場的MOCVD設(shè)備，那無疑是給中國LED產(chǎn)業(yè)帶來福音。正如亞威朗光電副總裁申廣所言，“從企業(yè)的角度來看，我們是希望MOCVD設(shè)備有新的競爭對手出現(xiàn)，有更好的產(chǎn)品出來，這樣可以降低整個產(chǎn)業(yè)鏈的成本，進(jìn)入通用照明更成熟。只要是好的產(chǎn)品，我們一定會支持和歡迎”。