基于ARM的擴散/氧化控制系統(tǒng)的設計
隨著信息化、智能化、網(wǎng)絡化的發(fā)展,嵌入式系統(tǒng)得到了前所未有的發(fā)展。由于嵌入式系統(tǒng)具有體積小、性能強、可靠性高等特點,目前廣泛應用于工業(yè)控制、控制儀表、通信等各個領域。擴散/氧化控制系統(tǒng)是為擴散氧化爐設計的控制系統(tǒng)。擴散/氧化爐是集成電路制造的重要的工藝設備之一。本系統(tǒng)主要由高精度的溫度控制系統(tǒng)、推拉舟控制系統(tǒng)、氣路控制系統(tǒng)組成。本系統(tǒng)為擴散/氧化爐提供高精度的擴散氧化環(huán)境,以生產(chǎn)出高質(zhì)量的半導體產(chǎn)品。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/151347.htm本文采用的是ARM處理器S3C2440,它具有工作頻率高、片上資源豐富等特點,可以良好地應用于本系統(tǒng)。且系統(tǒng)設計中移植了嵌入式WinCE,使得控制系統(tǒng)具有實時性強、編程方便、可擴展性強等特點。
1 擴散/氧化控制系統(tǒng)的總體設計
如圖1所示,系統(tǒng)的CPU及擴展模塊是以S3C2440為核心的開發(fā)板。在系統(tǒng)中有溫度控制子系統(tǒng)、推拉舟控制子系統(tǒng)、氣路控制子系統(tǒng)。上述3個子系統(tǒng)為閉環(huán)系統(tǒng),分別完成對溫度、步進電機、氣體質(zhì)量流量計的檢測和控制。觸摸顯示屏作為人機界面,用于控制和監(jiān)視系統(tǒng)的運行。
圖1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖
2 控制系統(tǒng)的硬件設計
2.1 ARM微處理器S3C2440
本設計采用三星S3C2440處理器。它的主頻為400 MHz,外擴存儲器NAND Flash為128 MB、SDRAM為64 MB,完全滿足控制系統(tǒng)運行的要求。該處理器片內(nèi)資源有1個LCD控制器(支持TFT帶有觸摸屏的液晶顯示屏)、SDRAM控制器、117位通用I/O口和24位外部中斷源等。本系統(tǒng)觸摸屏為3.5英寸,分辨率240×320,滿足系統(tǒng)要求。
2.2 溫度控制子系統(tǒng)硬件設計
溫度控制子系統(tǒng)要求4路溫度采集,其中一路測量環(huán)境溫度,另外3路測量擴散/氧化爐的溫度。系統(tǒng)要求溫度測量范圍為0~1 700℃,全量程分辨率為0.1℃。
為滿足系統(tǒng)要求,測量擴散/氧化爐的傳感器可以選用熱電偶。為滿足系統(tǒng)測量精度的要求,同時系統(tǒng)A/D轉(zhuǎn)換的速度要求不是很快,所以采用雙積分型A/D轉(zhuǎn)換器ILC7135。ILC7135精度高、抗干擾性能好、價格低,應用十分廣泛。ICL7135其轉(zhuǎn)換數(shù)字范圍為-19 999~+19 999,即分辨率為1/40 000。為了增加測量精度,需要對熱電偶輸入的信號進行濾波。因為本系統(tǒng)主要受工頻信號的干擾,所以濾波過程主要濾掉工頻信號。信號放大時根據(jù)系統(tǒng)的要求可以選用OP07、OP27等高精度的放大器。圖2為ILC7135的A/D轉(zhuǎn)換原理圖。因為S3C2440的引腳高電平為3.3 V,所以此電路與CPU連接時可以使用電平轉(zhuǎn)換芯片SN74ALVCl64245或74LVC4254等。
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