ALD中射頻阻抗匹配器的設(shè)計與研究
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ALD中負(fù)載線圈是一個匝數(shù)為4，直徑為120 mm的電感線圈。使用阻抗分析儀測得其電感量為1 900 nH。利用ADS軟件中的Smith圓圖功能調(diào)整匹配網(wǎng)絡(luò)的參數(shù)值，把電路模型的阻抗調(diào)整到Smith圓圖的中心點，即特性阻抗50 Ω，得到的結(jié)果如圖2所示。此時得到一組阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)參數(shù)可用于沒有產(chǎn)生等離子體的情況，如表1中等離子體產(chǎn)生前狀態(tài)的參數(shù)值所示。本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/154774.htm
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