ALD中射頻阻抗匹配器的設計與研究
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根據(jù)理論分析和軟件仿真，在沒有等離子體時，射頻電源已經和負載阻抗實現(xiàn)了阻抗匹配。當射頻電源的功率為30 W時，等離子體雖然能啟輝，但光亮很暗，此時反射功率為10．2 W，反射系數(shù)模值為0．33，反射系數(shù)模值比較高，系統(tǒng)處于失配狀態(tài)，繼續(xù)調整匹配網(wǎng)絡的參數(shù)，使系統(tǒng)的反射功率降低直至零。如圖3所示，此時射頻電源顯示反射功率為0，正向功率為30 W，反射系數(shù)Γ=0，能量全部為負載吸收，系統(tǒng)處于匹配狀態(tài)，等離子體發(fā)出耀眼的光。如圖4所示。本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/154774.htm
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