壓力傳感器芯片SCA2095原理及MEMS硅壓阻式構(gòu)造介紹
隨著信息處理技術(shù)的不斷提高,壓力傳感器芯片的研制與生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和可靠性也發(fā)生了革新,這在一定程度上推動了其應用發(fā)展(壓力傳感器應用)。那么,對于壓力傳感器芯片的知識,我們又了解多少呢?小編通過搜集整理資料,對有關(guān)壓力傳感器芯片的分類、原理、結(jié)構(gòu)以及工藝流程等作了簡單的歸納總結(jié)。下面我們一起來看一下具體介紹吧(壓力傳感器工作原理)。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/160330.htm壓力傳感器芯片分類
從材料上講,壓力傳感器芯片可以分為:單晶硅的、多晶硅的、陶瓷的、水晶的、金屬的、聚酰亞胺的等等;
從原理上講,壓力傳感器芯片可以分為:應變式、壓阻式、電容式、諧振式等(體重計上一般用的是應變片,應變片一般多為應變式或壓阻式)。
壓力傳感器芯片SCA2095是應用于利用壓阻效應,采用全橋設計的傳感器(例如壓力傳感器、應力計、加速度計等)的信號調(diào)節(jié)電路集成的芯片。
SCA2095采用EEPROM進行校準、溫度補償,并具有傳感器輸出保護和診斷的功能。還能夠更好調(diào)節(jié)增益和傳感器電橋偏移,能修正靈敏度誤差。
SCA2095芯片的外部數(shù)字接口采用三線制,即串行時鐘SCLK、數(shù)據(jù)輸出DO、數(shù)據(jù)輸入DI。通過CPU的操作,設置零位偏移寄存器、溫度寄存器、零點溫度補償寄存器、輸出基準寄存器、增益溫度補償寄存器等。這些寄存器中的值通過D/A轉(zhuǎn)換器變成模擬量疊加在調(diào)理電路中,從而改善了傳感器特性。
圖1 壓力傳感器芯片SCA2095原理框圖
MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片結(jié)構(gòu)
MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片采用周邊固定的圓形的應力硅薄膜內(nèi)壁,采用MEMS技術(shù)直接將四個高精密半導體應變片刻制在其表面應力最大處,組成惠斯頓測量電橋,作為力電變換測量電路的,將壓力這個物理量直接變換成電量,其測量精度能達0.01-0.03%FS。硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖所示,
圖2 硅壓阻式壓力傳感器芯片結(jié)構(gòu)
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