擴散爐溫度自動控制系統(tǒng)中的FPGA設計

(10)實例化Core8051模塊該控制系統(tǒng)的系統(tǒng)軟件用805l編程實現(xiàn)，ACTEL公司提供的8051軟核是該控制系統(tǒng)的核心，系統(tǒng)設計是直接調用該軟核，然后實例化8051軟核。軟件中溫度控制算法采用增量式PID算法編寫，實現(xiàn)了高精度的溫度控制。圖5給出FPGA內部的805l模塊與內部存儲器之間的接口框圖。圖6給出Core8051與程序存儲器之間的連接框圖。圖7給出Core8051與A／D轉換器之間的連接框圖。

3 結語
擴散爐溫度自動監(jiān)控系統(tǒng)的研究不僅可以廣泛應用于半導體制造行業(yè)中的干燥設備、擴散爐、熱處理設備，也可以移植應用于紡織、化工等其它行業(yè)的溫度控制系統(tǒng)。擴散爐溫控系統(tǒng)設計采用Fusion FPGA實現(xiàn)，電路更改方便，移植性強，與原系統(tǒng)相比，將多路A／D轉換、Core8051內核、PWM等模塊放到一個芯片內部，大大降低成本；采用PID算法控制，提高了精度；完成了多路溫度控制及無線傳輸功能。該系統(tǒng)已應用于集成電路工藝實驗室的擴散爐溫度控制系統(tǒng)，控制精度較前提高30％，完成了整個系統(tǒng)的數(shù)字化過程，取得了良好的實用效果。