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概述LED芯片生產(chǎn)過程與MOCVD知識

作者: 時間:2012-05-14 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

外延片(外延片)

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/168011.htm

產(chǎn)生前的外延片生長的基本原理是:在一塊加熱至適當溫度的襯底基片(主要有藍寶石和、SiC、Si)上,氣態(tài)物質(zhì)InGaAlP有控制的輸送到襯底表面,生長出特定單晶薄膜。目前LED外延片生長技術(shù)主要采用有機金屬化學(xué)氣相沉積()方法。

金屬有機物化學(xué)氣相淀(Metal-OrganicChemicalVaporDeposition,簡稱),1968年由美國洛克威爾公司提出來的一項制備化合物半導(dǎo)體單品薄膜的新技術(shù)。該設(shè)備集精密機械、半導(dǎo)體材料、真空電子、流體力學(xué)、光學(xué)、化學(xué)、電腦多學(xué)科為一體,是一種自動化程度高、價格昂貴、技術(shù)集成度高的尖端光電子專用設(shè)備,主要用于GaN(氮化)系半導(dǎo)體材料的外延生長和藍色、綠色或紫外發(fā)光二極體的制造,也是光電子行業(yè)最有發(fā)展前途的專用設(shè)備之一。

LED

LED外延片的生產(chǎn)制作過程比較復(fù)雜:

1.展完外延片后在每張外延片隨意抽取九點做測試。符合要求的為良品,其他為不良品(電壓偏差很大,波長偏短或偏長等)。

2.良品的外延片要做電極(P極,N極)。接下來就用鐳射切割外延片,然后100%分撿,根據(jù)不同的電壓,波長,亮度進行全自動化分檢,形成LED芯片(方片)。

3.最后還要進行目測,把有缺陷或者電極有磨損的分撿出來,這些就是后面的散晶。此時在藍膜上有不符合出貨要求的芯片,這些就成了邊片或毛片等。不良品的外延片,一般不用來做方片,就直接做電極(P極,N極),也不用做分檢,這些就是目前市場上的LED大圓片。

外延片技術(shù)的成功需要具備以下三個條件:

1.對設(shè)備的精確掌握。MOVCD由于各項成本很高,保養(yǎng)周期以及配件的準備充分都很重要。

2.外延原理的掌握,材料的成長需要具備物理、材料學(xué)和分析技術(shù)三項基本功夫,能掌握這些,材料的生長就可具備一定的能力。

3.持之以恒的實驗精神,外延結(jié)果需要恒心的等待,因為除了基本的分析外,結(jié)果的觀察與紀錄,做成LED芯片結(jié)果的分析,都需要耐心與恒心。



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