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一種單軸MEMS陀螺儀信號(hào)處理電路設(shè)計(jì)

作者: 時(shí)間:2011-12-23 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

設(shè)壓控振蕩器的輸出為Vppcosθ,靜電驅(qū)動(dòng)力為Fdcosθ,位移x=acos(θ+φ),則
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采用平均方法對(duì)式(11)進(jìn)行化解,由于θ的變化速度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)>φ和VLF的變化速度,根據(jù)平均方法,sin(2θ+2φ)、cos(2θ+2φ)、cos(2θ+φ)均為0,則式(11)可化解為
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對(duì)于式(12)和式(13)組成的一階微分方程組,可以通過(guò)勞斯判據(jù)判定其穩(wěn)定性,其穩(wěn)態(tài)下的Jacobian矩陣為
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