一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設(shè)計
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根據(jù)控制理論，對于二階系統(tǒng)，其Q值在0．707時系統(tǒng)穩(wěn)定并響應(yīng)最快。因此，在其他條件已知的情況下，該環(huán)路最優(yōu)響應(yīng)對應(yīng)的濾波器電容為
2．2 開環(huán)檢測帶寬分析
開環(huán)檢測工作原理如圖3所示，當(dāng)驅(qū)動軸穩(wěn)定工作在其諧振頻率后，φ=-π／2，通常ωdω，如果Qs足夠大，則φ≈0，通過低通濾波就可以得到跟輸入ωΩ相關(guān)的電壓。對于單質(zhì)量塊的MEMS陀螺儀，其頻率響應(yīng)如圖4所示。本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/172299.htm
設(shè)輸入角速度信號頻率為ωΩ，則檢測軸的位移為
3 CV轉(zhuǎn)換模塊的設(shè)計
對于MEMS陀螺儀信號處理電路而言，CV轉(zhuǎn)換模塊的輸出是后續(xù)信號處理的基礎(chǔ)，所以CV轉(zhuǎn)換模塊對于MEMS陀螺儀信號處理電路的重要性不言而喻。
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