應(yīng)用材料公司推出平板顯示設(shè)備高分辨率整片在線電子束檢視技術(shù)

　　應(yīng)用材料公司今天推出了全球第一款面向平板顯示行業(yè)的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)。該系統(tǒng)能顯著提高OLED，UHD液晶屏制造商良率改善的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場(chǎng)。

　　作為半導(dǎo)體行業(yè)EBR技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)廠商，應(yīng)用材料公司2015年市場(chǎng)占有率達(dá)到70%以上。最新的EBR系統(tǒng)在一臺(tái)大型真空平臺(tái)上結(jié)合了用于半導(dǎo)體器件檢視的掃描電子顯微鏡(SEM)，成為業(yè)內(nèi)最快、最高效的在線EBR檢視技術(shù)，能有效發(fā)現(xiàn)，分析移動(dòng)設(shè)備和電視顯示屏致命缺陷的根源。

　　全球十大顯示屏制造商，目前已有六家向應(yīng)用材料公司訂購了EBR系統(tǒng)。隨著越來越多的顯示器廠商希望通過快速、經(jīng)濟(jì)的方式來提升良率，盡快將新產(chǎn)品推向市場(chǎng)，勢(shì)必將進(jìn)一步提升該系統(tǒng)的未來需求。

　　應(yīng)用材料公司高級(jí)副總裁，平板顯示及相關(guān)產(chǎn)品事業(yè)部與全球服務(wù)產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Ali Salehpour表示：“我們擁有一系列面向平板顯示行業(yè)的新產(chǎn)品，其中最新推出的EBR系統(tǒng)能幫助客戶解決OLED，LCD制造中的關(guān)鍵挑戰(zhàn)。該系統(tǒng)完美結(jié)合了應(yīng)用材料公司在半導(dǎo)體良率控制領(lǐng)域的先進(jìn)工藝和面板級(jí)SEM技術(shù)，進(jìn)一步擴(kuò)展了我們產(chǎn)品的目標(biāo)市場(chǎng)，幫助客戶避免因良率低下導(dǎo)致的高昂成本。隨著增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)、虛擬現(xiàn)實(shí)及智能汽車等新應(yīng)用的日漸興起，市場(chǎng)對(duì)于新外型、性能更出色的顯示屏的需求不斷增加，這也相應(yīng)推升了先進(jìn)平板顯示解決方案的需求，而我們的EBR系統(tǒng)能幫助客戶加快產(chǎn)品上市時(shí)間，因而受到市場(chǎng)熱烈反響?！?/p>

　　知名顯示器制造商天馬微電子集團(tuán)副總裁馬駿博士表示：“作為全球顯示解決方案領(lǐng)導(dǎo)廠商，天馬十分重視與應(yīng)用材料公司的良好合作關(guān)系。應(yīng)用材料公司的設(shè)備幫助我們開發(fā)出生產(chǎn)高質(zhì)量、高性能移動(dòng)顯示屏的新技術(shù)，滿足消費(fèi)者日益增長(zhǎng)的需求。應(yīng)用材料公司的EBR系統(tǒng)將縮短我們武漢工廠生產(chǎn)線的調(diào)試時(shí)間，從而更快地向市場(chǎng)推出更多先進(jìn)的平板顯示技術(shù)。此次合作成功后，我們期待繼續(xù)與應(yīng)用材料公司攜手，將更多半導(dǎo)體良率提高技術(shù)引入移動(dòng)顯示制造過程?！?/p>

　　由于先進(jìn)的平板顯示技術(shù)需要越來越多的生產(chǎn)工序，可能產(chǎn)生更多、更小的污染物，以及新類型的缺陷。在區(qū)分致命與非致命缺陷以及確認(rèn)導(dǎo)致缺陷的系統(tǒng)性原因方面，目前傳統(tǒng)的在線自動(dòng)光學(xué)缺陷檢查設(shè)備無一能與SEM分析技術(shù)相媲美。在應(yīng)用材料公司推出EBR系統(tǒng)前，顯示屏的SEM分析必須破壞性地切割玻璃基板，然后在顯微鏡下對(duì)每一小片玻璃單獨(dú)進(jìn)行檢視。這一過程不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且?guī)缀鯚o法確定缺陷在面板上的位置。為了彌補(bǔ)這些不足，應(yīng)用材料公司開發(fā)了在線SEM檢視工具，能實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)最高的分辨率和檢視速度，且無需破壞玻璃基板。

　　*SEM = scanning electron microscope

　　*SEM =掃描電子顯微鏡