Entegris推出全面去除金屬離子的Purasol 溶劑純化器
Entegris Inc. (NASDAQ:ENTG) 是為微電子行業(yè)提供特殊化學(xué)品和先進(jìn)材料處理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者,今日推出了 Purasol?,這是一款首創(chuàng)的溶劑純化器,可去除超凈化學(xué)品制造工藝所用有機(jī)溶劑中發(fā)現(xiàn)的各種金屬微污染物。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201703/345590.htm這款新型多功能純化器采用獨(dú)特的定制薄膜技術(shù),可以有效地去除各種超純、極性和非極性溶劑中的溶解性和膠狀金屬污染物。
Entegris 微污染控制部門(mén)高級(jí)副總裁 Clint Haris 表示:“隨著對(duì)金屬污染物的敏感度不斷增加,光化學(xué)品制造商正在尋找新的技術(shù)解決方案來(lái)處理各種各樣會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品瑕疵的污染物,這些污染物更難控制,且控制成本更高。在我們持續(xù)努力開(kāi)發(fā)針對(duì)這些挑戰(zhàn)的超凈解決方案的過(guò)程中,我們研發(fā)了一種新型薄膜技術(shù),能有效去除這些關(guān)鍵污染物。”
Purasol 純化器與大部分溶劑兼容,包括環(huán)己酮等難以去除的酮類(lèi),并且提供出色的潔凈度,具備極為關(guān)鍵的金屬去除能力,對(duì)污染物的去除性能達(dá)到萬(wàn)億分之一或更優(yōu)的等級(jí)?,F(xiàn)有兩種產(chǎn)品選擇,針對(duì)不同的溶劑極性(極性和非極性),去除已知會(huì)在光刻應(yīng)用中導(dǎo)致缺陷的金屬。
有關(guān) Purasol 純化器的更多信息,請(qǐng)蒞臨 SPIE 光電及光子大會(huì)(2017 年 2 月 28 日 – 3 月 1 日)Entegris 展位,或訪問(wèn)www.entegris.com/purasol。
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