上海工研院面向MEMS的8寸研發(fā)中試線6月底將投運(yùn)

　　近5000平方米的潔凈室，每一塊地板的孔洞數(shù)量，為了循環(huán)洗滌都經(jīng)過精準(zhǔn)計算。其中用來曝光和顯影的“黃光區(qū)”，潔凈度更高，1分鐘內(nèi)1立方英尺的空間大于0.2微米的微塵必須少于10顆。這里正是上海微技術(shù)工研院建設(shè)的國內(nèi)首條專注“超越摩爾”領(lǐng)域，面向微機(jī)電系統(tǒng)的8寸研發(fā)中試線所在地。6月底，這條中試線將啟動試運(yùn)行。

　　到2020年，上海市將培育形成約30家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺，與張江綜合性國家科學(xué)中心共同組成上?？苿?chuàng)中心建設(shè)的“四梁八柱”。上海微技術(shù)工業(yè)研究院(簡稱工研院)正是第一個啟動的平臺。這家新型研發(fā)機(jī)構(gòu)成立4年來，走過了一條不尋常的機(jī)制體制創(chuàng)新之路。

　　企業(yè)化運(yùn)作的研發(fā)與轉(zhuǎn)化平臺

　　成立于2013年5月的上海微技術(shù)工業(yè)研究院，以上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司為運(yùn)營實(shí)體。與一般事業(yè)編制的研發(fā)機(jī)構(gòu)不同，它是一家企業(yè)化運(yùn)作的研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺，其目標(biāo)是打造世界級傳感器及超越摩爾領(lǐng)域龍頭新型研發(fā)機(jī)構(gòu)。

　　“活”是企業(yè)最大的特點(diǎn)，工研院便在“活”上做足文章。以往從實(shí)驗室研發(fā)出成果到量產(chǎn)，有很長的一段路要走，中試就是一個必經(jīng)階段。不過，中試在很多企業(yè)看來是一樁性價比很低的“買賣”，不僅要拿出原本賺錢的設(shè)備和生產(chǎn)線，還有可能遭遇失敗。未來，8寸研發(fā)中試線建成后，不僅可以做研發(fā)，還可以實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)，加快產(chǎn)品市場化。

　　工研院充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)平臺功能，和中科院上海微系統(tǒng)所聯(lián)合產(chǎn)業(yè)資本設(shè)立了同華新微基金和“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金。其中，“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金由工研院、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立，規(guī)模達(dá)50億元。同華新微基金由工研院和同華投資集團(tuán)共同發(fā)起成立，規(guī)模達(dá)20億元。一旦有了好的項目，無需四處“化緣”，可以用產(chǎn)業(yè)基金直接投資，大大提高了資本運(yùn)行效率。

　　“一輛車能跑多快，除了車的性能，更重要的是取決于開車的人。”8寸研發(fā)中試線運(yùn)營副總裁游家杰說，超越摩爾是另辟蹊徑的反向突破，要實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)，需把人才作為第一資源。成立之初，工研院就建立了人才引進(jìn)和股權(quán)激勵機(jī)制，面向全球引進(jìn)頂級人才及團(tuán)隊，并給予相匹配的市場待遇，目前已形成覆蓋戰(zhàn)略規(guī)劃、研發(fā)、工程、運(yùn)營和市場銷售的150人團(tuán)隊，其中研發(fā)和工程人員比例高達(dá)80%。此外，以上海為中心，還在硅谷、臺灣新竹、歐洲等地成立了研發(fā)中心，打造全球人才網(wǎng)絡(luò)。

　　事前報批制改為事后考核制

　　為把體制創(chuàng)新再往前推一步，使得對工研院的穩(wěn)定支持常態(tài)化，2016年10月27日，上海市科委、嘉定區(qū)人民政府與工研院簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議，加快“超越摩爾”核心技術(shù)研發(fā)。所謂“超越摩爾”，是指不再只遵循摩爾定律，在半導(dǎo)體工藝尺寸上越做越小，而是在成熟的工藝生產(chǎn)線上，研發(fā)非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)品;不再跟在少數(shù)企業(yè)后面“較勁”，而在傳感器等其他新興技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)“彎道超車”。

　　正如“超越摩爾”這一內(nèi)涵的創(chuàng)新，市科委探索先“給錢”后“考核”的評價體系，工研院因此成為上海首個將事前報批制改為事后考核制的單位——前期研發(fā)階段，政府給予穩(wěn)定支持，并每年進(jìn)行考核，以加快科技成果向市場的轉(zhuǎn)化。在財政經(jīng)費(fèi)總量上，采用政府投入與單位績效掛鉤制度：公司運(yùn)營收入高，政府投入也高，反之投入就少。同時，給予工研院在經(jīng)費(fèi)使用、人員聘任等方面的自主權(quán)，推動其在市場化環(huán)境中快速發(fā)展，整體帶動上海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型升級。

　　由于傳感器的更迭換代周期較短，先“給錢”后“考核”，無疑最大程度地爭取了時間，加快了實(shí)驗室的成果向市場轉(zhuǎn)化。

　　提升產(chǎn)業(yè)鏈綜合服務(wù)能級

　　機(jī)制體制上的創(chuàng)新，激發(fā)了這家研發(fā)機(jī)構(gòu)的內(nèi)在活力。市科委主任壽子琪曾表示，未來建成的30家研發(fā)和轉(zhuǎn)化功能型平臺，是直接支撐上海經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的基礎(chǔ)性平臺，要通過科技創(chuàng)新給上海帶來實(shí)惠。近年來，工研院聚焦MEMS等先進(jìn)傳感器、第三代半導(dǎo)體材料及器件、射頻器件和電路，以及高效太陽能電池等重點(diǎn)方向，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)的新突破，已申請國際發(fā)明專利14件、國內(nèi)發(fā)明專利111件。此外，工研院另一重要創(chuàng)新平臺——硅光子集成工藝平臺，在前沿基礎(chǔ)研究與核心器件開發(fā)方面取得了良好進(jìn)展，并將結(jié)合8寸研發(fā)中試線從整體上打通國內(nèi)硅光子產(chǎn)業(yè)鏈，有望成為全球第三個先進(jìn)的硅光子研發(fā)中試平臺。隨著產(chǎn)業(yè)核心關(guān)鍵技術(shù)的突破，工研院對整個產(chǎn)業(yè)鏈的綜合服務(wù)能級也得到快速提升，已為華為、Vivo、中芯國際等50多家知名客戶提供工程技術(shù)服務(wù)。

　　培育新業(yè)態(tài)和新產(chǎn)業(yè)，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)引領(lǐng)能力，同樣是工研院作為研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺的重要使命。工研院完成汽車?yán)走_(dá)芯片項目的孵化，聯(lián)合同華投資管理公司共同成立了汽車?yán)走_(dá)芯片公司，打造國內(nèi)自主知識產(chǎn)權(quán)的汽車?yán)走_(dá)芯片產(chǎn)品;為實(shí)現(xiàn)HIT太陽能電池的規(guī)?；a(chǎn)，工研院與中科院上海微系統(tǒng)研究所、三峽資本共同成立了一家產(chǎn)業(yè)化公司，總投資額約為5億人民幣。

　　為打造國內(nèi)超越摩爾產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)環(huán)境，工研院牽頭成立了“中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟”，目前成員數(shù)量已達(dá)300余家。由該聯(lián)盟主辦的中國(上海)國際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會已得到國際同行和國內(nèi)產(chǎn)業(yè)圈的普遍認(rèn)可，成為國際三大傳感器與物聯(lián)網(wǎng)交流平臺之一。

　　在成立之初，工研院對標(biāo)的是歐洲最大的獨(dú)立微電子研究中心比利時的IMEC;近期，雙方就合資成立“IMEC中國研究院”達(dá)成基本意向，下一代智能汽車的無人駕駛、傳感融合技術(shù)，將成為第一個合作方向。

　　勇立潮頭者，胸中有丘壑。工研院創(chuàng)新勇氣的背后，是對科技進(jìn)步大方向、產(chǎn)業(yè)革命大趨勢的把握。工研院的發(fā)展戰(zhàn)略，緊跟的是國家集成電路發(fā)展戰(zhàn)略，看好的是半導(dǎo)體新興市場，倚重的是上海成熟的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢。假以時日，這家新型研發(fā)機(jī)構(gòu)必將帶來更多的驚喜。