完善產業(yè)鏈生態(tài)布局，建設上海全球科創(chuàng)中心功能型平臺

　　2017年12月1日，致力于“超越摩爾”產業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新平臺上海微技術工業(yè)研究院(以下簡稱“工研院”)運營的8英寸“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產品近日獲得驗證通過，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。

　　當前以智能傳感終端、大數(shù)據(jù)、云計算、人工智能等為代表的信息技術正加速創(chuàng)新，萬物互聯(lián)智能化時代正在到來。其中“超越摩爾”技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現(xiàn)萬物互聯(lián)的基礎。作為創(chuàng)新型功能平臺，工研院立足國內集成電路研發(fā)和產業(yè)基地上海，8英寸研發(fā)中試線落戶嘉定，填補國內這一領域的空白。

　　研發(fā)中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產品和技術特點部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關工藝和量測設備，提供全方位的產品研發(fā)、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務。

　　“這次的通線成功標志著中國在MEMS及先進傳感器的研發(fā)和產業(yè)化進入一個全新的快速發(fā)展的階段。未來研發(fā)中試線將持續(xù)發(fā)力，在新材料、新工藝、新器件、新系統(tǒng)重點技術領域開展研發(fā)，進一步推動“超越摩爾”產業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網創(chuàng)新應用發(fā)展。” 上海微技術工研院總裁楊瀟表示。

　　以全球領先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點，工研院將持續(xù)打造集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案，建設具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心及“超越摩爾”產業(yè)群。

　　圖：上海微技術工研院8英寸 “超越摩爾” 研發(fā)中試線