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讓ASML如此親睞,Mapper公司什么來頭?

作者: 時(shí)間:2019-02-12 來源:半導(dǎo)體行業(yè)觀察 收藏
編者按:荷蘭光刻機(jī)制造商ASML官方宣布,收購其競爭對手荷蘭代爾夫特的光刻機(jī)制造商Mapper的知識產(chǎn)權(quán)資產(chǎn)。同時(shí),ASML的官方聲明中還寫到,將為Mapper在研發(fā)和產(chǎn)品裝配方面的高技能員工提供合適的職位

  荷蘭光刻機(jī)制造商官方宣布,收購其競爭對手荷蘭代爾夫特的光刻機(jī)制造商的知識產(chǎn)權(quán)資產(chǎn)。同時(shí),的官方聲明中還寫到,將為在研發(fā)和產(chǎn)品裝配方面的高技能員工提供合適的職位。總裁兼首席執(zhí)行官Peter Wennink表示:“我們非常尊重的專家,他們表現(xiàn)出極大的創(chuàng)造力和足智多謀。ASML重視他們的專業(yè)知識,我們期待著歡迎他們加入我們的組織?!?/p>本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201902/397475.htm

  

  ASML官方聲明

  能夠讓光刻機(jī)巨頭ASML如此親睞,這個(gè)Mapper公司到底是什么來頭?

  天堂和地獄僅一步之遙

  作為ASML的競爭對手,Mapper在2018年12月份被證實(shí)正式宣布破產(chǎn),公司擁有270名員工和眾多電子束光刻機(jī)相關(guān)的IP。

  Mapper曾經(jīng)以為自己找到了半導(dǎo)體制造行業(yè)的痛點(diǎn),無奈研發(fā)能力跟不上,最終錯(cuò)過了好時(shí)機(jī)。和Mapper電子束光刻機(jī)對應(yīng)的就是傳統(tǒng)光刻,將掩模放置在光源和硅片之間,光線通過掩模照射到硅片上,使得掩模上的線條圖形按一定比例縮小轉(zhuǎn)移到硅片上。這個(gè)過程需要循環(huán)反復(fù)多次,加上晶圓制造需要多層光刻,一顆芯片可能要六十次以上,這樣就造成了掩模的成本非常高昂,進(jìn)而導(dǎo)致制造一顆新的芯片的成本急劇上升。

  Mapper為了降低芯片制造商在掩模上的高昂費(fèi)用,以及讓光刻突破光波長的限制,選擇使用電子束替代光源。電子束具有很高的分辨率、較大的焦深與靈活性。Mapper設(shè)備通過使用電子束書寫而不再需要掩模,讓芯片成本有望實(shí)現(xiàn)明顯下降。

  但是,電子束也有自身的缺陷,就是速度比光源光刻要慢很多,Mapper通過大量增加電子束的數(shù)量來解決這個(gè)難題。光刻機(jī)的分辨率通常在十幾納米至幾微米之間,這就需要極高的工藝來保證幾十萬個(gè)電子束能夠精準(zhǔn)的控制,研發(fā)和制造的難度都極大。

  2009年,有外媒報(bào)道,由于技術(shù)上的原因,Mapper原計(jì)劃交付給臺積電的300mm光刻設(shè)備延期,當(dāng)時(shí)給出的延期時(shí)間是一個(gè)季度,讓臺積電的制程研發(fā)受到了影響。而當(dāng)時(shí)臺積電準(zhǔn)備轉(zhuǎn)入的工藝制程是32nm。隨著工藝不斷精進(jìn),以及芯片上電路日益復(fù)雜,控制精度和電子束數(shù)量增長帶來的難度并不亞于EUV光刻機(jī)光源功率的增加,Mapper顯然沒有攻克難題。

  2011年,當(dāng)時(shí)的代工三巨頭臺積電、英特爾和格羅方德其實(shí)更傾向于無掩模光刻技術(shù),認(rèn)為無掩模技術(shù)顯得更適合作為下一代光刻技術(shù)使用。但是,由于無掩模技術(shù),包括電子束光刻的研發(fā)遇到了困境,三家公司才又將目光移回到EUV光刻,此前由于擔(dān)心EUV光刻成本太高以及曝光率等問題三家公司對此并不熱情。

  所以,16nm成了光源光刻和電子束光刻的分水嶺,ASML從此名震天下,拿到光刻機(jī)市場78%的份額,Mapper一蹶不振以至于破產(chǎn)被收購資產(chǎn)。ASML的EUV光刻機(jī)是目前市場上最先進(jìn)的設(shè)備,能夠用于晶圓代工廠的7nm制程,其他廠商在這一點(diǎn)上難以望其項(xiàng)背。

  

  ASML的“壟斷地位”得到鞏固

  在2018年底,ASML只是眾多對Mapper收購感興趣的公司之一,如今如愿以償?shù)玫組apper的IP和員工,ASML可謂是如虎添翼。

  首先,光刻機(jī)行業(yè)是技術(shù)壁壘極高的行業(yè),能夠吸納Mapper的人才,解決了ASML的人才招聘苦惱。Peter Wennink表示:“Mapper員工也將有機(jī)會參與我們激動人心且具有挑戰(zhàn)性的下一代芯片制造計(jì)劃,即EUV和EUV High-NA。多年來積累的Mapper的知識產(chǎn)權(quán)和知識現(xiàn)在將用于荷蘭的進(jìn)一步創(chuàng)新?!?/p>

  另外,雖然EUV光刻機(jī)已經(jīng)量產(chǎn)出售給客戶,但是EUV光刻機(jī)需要250瓦的光源和125WPH的效率,這讓設(shè)備的生產(chǎn)受到極大的限制,也讓設(shè)備的成本非常的高昂。并且250瓦光源只能支撐到5nm,到了3nm將需要500瓦的光源,這對ASML的研發(fā)提出極高的挑戰(zhàn)。

  因此,收購Mapper的IP無疑給自己的未來增加了更多的可能。

  ASML有一個(gè)規(guī)定值得大家注意,那就是只有投資ASML,才能夠獲得優(yōu)先供貨權(quán)。ASML可以借助客戶的投資在EUV光源和電子束光刻上雙管齊下,保證自己在光刻機(jī)行業(yè)的壟斷地位。



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