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傳臺積電今年將購入18臺EUV光刻機,7nm EUV最快3月量產(chǎn)

作者: 時間:2019-02-14 來源:芯智訊 收藏
編者按:來自產(chǎn)業(yè)鏈的最新消息稱,臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,加上之前采購的幾臺,臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產(chǎn),推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

  目前蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII等芯片均由代工,不過,目前量產(chǎn)的制程仍是基于DUV(深紫外)工藝。相比之下,雖然三星的目前仍未量產(chǎn),但是三星則是直接采用了更為先進(jìn)的(極紫外)工藝,有望領(lǐng)先的7nm 制程。消息稱,三星去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm 。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201902/397535.htm

  所以,臺積電要想保持優(yōu)勢,就必須要加快7nm EUV的進(jìn)程。而7nm EUV工藝的關(guān)鍵在于EUV光刻機,今年ASML(荷蘭阿斯麥)也計劃提高EUV光刻機的產(chǎn)能,以及將年出貨量由之前的18臺提升到今年的30臺。

  而來自產(chǎn)業(yè)鏈的最新消息稱,臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,加上之前采購的幾臺,臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產(chǎn),推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

  目前,ASML現(xiàn)款EUV光刻機Twinscan NXE: 3400B(今年會有新型號3400C)報價約1.2億美元(約合8億人民幣),也就是說臺積電訂購的這18臺EUV光刻機總價接近150億元。

  此外,臺積電還計劃在今年第二季度啟動5nm工藝的風(fēng)險試產(chǎn),值得注意的是,5nm必須采用EUV工藝才能夠?qū)崿F(xiàn)。

  此前臺積電聯(lián)合CEO魏哲家在投資者會議上也曾,2019年上半年晚些時候?qū)髌?nm,量產(chǎn)時間將會再2020年上半年。



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