傳臺積電今年將購入18臺EUV光刻機,7nm EUV最快3月量產(chǎn)
目前蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII等7nm芯片均由臺積電代工,不過,目前臺積電量產(chǎn)的7nm制程仍是基于DUV(深紫外)工藝。相比之下,雖然三星的7nm目前仍未量產(chǎn),但是三星則是直接采用了更為先進(jìn)的EUV(極紫外)工藝,有望領(lǐng)先臺積電的7nm EUV制程。消息稱,三星去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm EUV。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201902/397535.htm所以,臺積電要想保持優(yōu)勢,就必須要加快7nm EUV的進(jìn)程。而7nm EUV工藝的關(guān)鍵在于EUV光刻機,今年ASML(荷蘭阿斯麥)也計劃提高EUV光刻機的產(chǎn)能,以及將年出貨量由之前的18臺提升到今年的30臺。
而來自產(chǎn)業(yè)鏈的最新消息稱,臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,加上之前采購的幾臺,臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產(chǎn),推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。
目前,ASML現(xiàn)款EUV光刻機Twinscan NXE: 3400B(今年會有新型號3400C)報價約1.2億美元(約合8億人民幣),也就是說臺積電訂購的這18臺EUV光刻機總價接近150億元。
此外,臺積電還計劃在今年第二季度啟動5nm工藝的風(fēng)險試產(chǎn),值得注意的是,5nm必須采用EUV工藝才能夠?qū)崿F(xiàn)。
此前臺積電聯(lián)合CEO魏哲家在投資者會議上也曾,2019年上半年晚些時候?qū)髌?nm,量產(chǎn)時間將會再2020年上半年。
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