上海精測(cè)中標(biāo)長(zhǎng)江存儲(chǔ)集成式膜厚量測(cè)儀

據(jù)悉，精測(cè)電子控股子公司上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司中標(biāo)長(zhǎng)江存儲(chǔ)的3臺(tái)集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)儀。

上海精測(cè)以橢圓偏振技術(shù)為核心，在 1 年多時(shí)間內(nèi)開發(fā)了適用于半導(dǎo)體工業(yè)級(jí)應(yīng)用的膜厚測(cè)量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量系統(tǒng)，包括集成式膜厚測(cè)量機(jī) EFILM 300IM、集成單 / 雙模塊膜厚測(cè)量機(jī) EFILM 300DS、高性能膜厚及 OCD 測(cè)量機(jī) EPROFILE 300FD 等產(chǎn)品型號(hào)。近日實(shí)現(xiàn) 3 臺(tái)來自長(zhǎng)江存儲(chǔ)的集成式膜厚光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測(cè)儀訂單，表明上海精測(cè)已具備晶圓制造環(huán)節(jié)的膜厚量測(cè)設(shè)備重復(fù)、批量供應(yīng)能力。

據(jù)了解，精測(cè)電子控股子公司上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司已完成股權(quán)變更，新增六位股東，分別為上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)、上海青浦投資有限公司、上海精圓管理咨詢合伙企業(yè)、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司(國(guó)家大基金一期)、馬駿和劉瑞林。其中，國(guó)家大基金一期此次注資 1 億人民幣，對(duì)上海精測(cè)半導(dǎo)體持股 15.38%，為并列第二大股東。