韓國SK Materials量產(chǎn)高純度氟化氫,加速半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化
韓國SK集團(tuán)17日表示,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度(純度99.999%)氟化氫氣體。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202006/414458.htm據(jù)韓國國際廣播電臺(tái)報(bào)道,去年日本對(duì)韓國采取出口限制措施后,韓國企業(yè)開始自主生產(chǎn)半導(dǎo)體材料并快速取得成果。
韓國SK集團(tuán)17日表示,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度(純度99.999%)氟化氫氣體。超高純度氟化氫氣體是日本限制向韓國出口的項(xiàng)目之一,在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中用于清洗,海外依存度曾達(dá)100%。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。在高純度的氟化氫市場,日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。
SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動(dòng)量產(chǎn)。該公司表示,實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的氟化氫氣體達(dá)到被稱為“5個(gè)9”的純度,即99.999%,不過品質(zhì)仍低于日本廠商產(chǎn)品。
SK Materials還透露,從去年底成功開發(fā)出試制品后,在韓國慶尚北道榮州工廠建設(shè)規(guī)模達(dá)15噸的生產(chǎn)設(shè)施。且三星電子和SK海力士將采用公司產(chǎn)品。
SK Materials計(jì)劃截至2023年將國產(chǎn)比例提高到70%。
此外,SK Materials近期還著手開發(fā)高附加值產(chǎn)品“硬掩膜 (SOC)”和ArF光刻膠(ArF PR),并計(jì)劃明年投資400億韓元建設(shè)生產(chǎn)設(shè)施,從2022年開始每年生產(chǎn)5萬加侖光刻膠。
SK Materials是一家生產(chǎn)銷售半導(dǎo)體, 顯示器, 太陽能電池等領(lǐng)域的核心材料, 并提供相關(guān)配套服務(wù), 從而致力于物聯(lián)網(wǎng), 大數(shù)據(jù), 無人駕駛等未來信息技術(shù) (IT) 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
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