蝕刻機和光刻機之間的區(qū)別,國產(chǎn)5nm蝕刻機取得臺積電認證
最近5nm刻蝕機被炒的很火,網(wǎng)上鋪天蓋地的消息都在說,中國芯片已經(jīng)實現(xiàn)彎道超車,我國芯片將自給自足,不用擔(dān)心被卡脖子的問題了。其實這種說法是極其不專業(yè)的,純粹就是偷天換日、混淆視聽。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202010/419329.htm乍一看光刻機和蝕刻機非常接近,但是光刻機和蝕刻機卻不能混為一談,因為蝕刻只是制造芯片其中之一的環(huán)節(jié)罷了。而刻蝕機也只是諸多芯片制造設(shè)備其中之一。下面我給大家聊一下蝕刻機。
蝕刻機和光刻機其實就是完全不同的兩種設(shè)備,不論從功能還是結(jié)構(gòu)上來說都是天差地別,光刻機是整個芯片制造過程中最為核心的設(shè)備,芯片的制程是由光刻機決定的,而不是蝕刻機。
從工作原理上看光刻機和蝕刻機。
如果把制造芯片比喻成蓋房子,那么光刻機的作用就是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)注在地上??涛g機就是在光刻完成以后才登場的設(shè)備,也是光刻完成以后最為重要的設(shè)備之一??涛g機最主要的作用就是按照光刻機已經(jīng)標(biāo)注好的線去做基礎(chǔ)建設(shè),把不需要的地方給清除掉,只留下光刻過程中標(biāo)注好的線路。
從結(jié)構(gòu)上來看光刻機和蝕刻機。
光刻機的最主要的核心技術(shù)就是光源和光路,其光源和光路的主要組成部分有四個,光源、曝光、檢測、和其他高精密機械組成。對比之下,蝕刻機的結(jié)構(gòu)組成就要簡單很多,主要是等離子體射頻源、反應(yīng)腔室和真空氣路等組成。
從售價來看蝕刻機和光刻機。
ASML的EUV光刻機單臺售價高達1.2億美元,而蝕刻機的售價就要低很多了,每臺售價在幾十萬到幾百萬美元之間。
蝕刻機的相關(guān)工作原理我之前有發(fā)文,有感興趣的可以去我主頁去找,這里我也不再過多敘述。
國產(chǎn)蝕刻機就給我國半導(dǎo)體領(lǐng)域做了一個很好的榜樣,我國中微半導(dǎo)體研發(fā)出國際主流的5nm蝕刻機并取得臺積電的認證后,美國商務(wù)部就把蝕刻機從對華出口限制清單上移除了。這充分說明了一件事情,只要自己有了核心技術(shù),對手就沒法再打壓你。
總體來說,我國在半導(dǎo)體領(lǐng)域還相對比較落后,還有較長的路要走,但是只要我們堅持走下去,就一定可以看見彩虹。
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