艾邁斯歐司朗與愛思強宣布,面向Micro LED應用的200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲艾邁斯歐司朗認證

全球領(lǐng)先的光學解決方案供應商艾邁斯歐司朗和半導體行業(yè)沉積設備領(lǐng)先供應商愛思強（AIXTRON SE）近日聯(lián)合宣布，200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲得艾邁斯歐司朗的認證，可用于滿足Micro LED應用需求。

愛思強的MOCVD系統(tǒng)AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛(wèi)星式氣浮旋轉(zhuǎn)水平技術(shù)（Planetary Technology），為下一代高分辨率Micro LED顯示屏鋪平了道路。早在2022年第一季度，艾邁斯歐司朗宣布200mm產(chǎn)能增建計劃，在馬來西亞現(xiàn)有工廠實現(xiàn)LED和Micro LED產(chǎn)能。MOCVD系統(tǒng)有望助力實現(xiàn)Micro LED的批量生產(chǎn)，打造出新一代顯示應用。

艾邁斯歐司朗執(zhí)行副總裁兼光電半導體業(yè)務負責人Robert Feurle表示：“愛思強和艾邁斯歐司朗保持著長期的合作關(guān)系，我們熟悉其設備的性能和質(zhì)量標準。對于任務艱巨的項目，例如開發(fā)和生產(chǎn)適用于AsP和GaN器件的Micro LED，愛思強正是我們需要的合作伙伴?！睈鬯紡娛紫瘓?zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士補充道：“G10-AsP和AIX G5+ C已成功獲得艾邁斯歐司朗的認證，這是我們公司歷史上一個非常重要的里程碑。艾邁斯歐司朗是全球領(lǐng)先的LED制造商，完全有能力將全新的基礎(chǔ)性技術(shù)推向市場。我們正面臨著從傳統(tǒng)顯示技術(shù)向新型Micro LED顯示技術(shù)的重大轉(zhuǎn)變。如今，愛思強正在邁入一個潛力巨大的未來增長市場，而且我們還有一位理想的合作伙伴與我們攜手共進?！盡icro LED具備非常顯著的優(yōu)勢，例如更高的像素密度、更長的使用壽命、更高的亮度、更快的開關(guān)速度和更寬的色譜，進一步提升顯示技術(shù)。相對能耗低也是一項重要優(yōu)勢，使得Micro LED技術(shù)非常適合用于下一代配備較小顯示器的消費電子設備，通常這些設備為電池提供的空間非常有限。Micro LED有著特殊的生產(chǎn)要求：在其量產(chǎn)過程中包含一個特殊的批量轉(zhuǎn)移工藝步驟，數(shù)千個微米尺寸的LED芯片（陣列）被拾放。任何缺陷都可能導致像素壞死，使整個陣列變得無用。因此，必須使用幾乎無誤差的外延工藝，使缺陷最小化，支持高成品率和符合經(jīng)濟效益的Micro LED生產(chǎn)。愛思強的新型G10-AsP外延工具經(jīng)過精心設計，旨在滿足這項應用的特殊需求。這項全新工具是世界首款全自動AsP反應器，提供全自動“檢測盒到檢測盒”（cassette-to-cassette）晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機制。這兩個特性結(jié)合在一起會對成品率產(chǎn)生顯著影響。此外，間歇式反應器技術(shù)還為愛思強系統(tǒng)帶來了多項優(yōu)勢：其每片晶圓的生產(chǎn)成本在當前市場上屬于最低級別，而單位潔凈室面積吞吐量為最高級別。同時，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續(xù)運行時保持非常好的材料均勻性。