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英特爾拿到的ASML高數(shù)值孔徑EUV已投入生產(chǎn)

作者: 時(shí)間:2025-02-25 來(lái)源:財(cái)聯(lián)社 收藏

《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》25日訊,周一表示,去年率業(yè)界之先接收的兩臺(tái)高數(shù)值孔徑極紫外光已投入生產(chǎn)。資深總工程師卡森表示,這兩臺(tái)尖端機(jī)器已生產(chǎn)了3萬(wàn)片晶圓。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202502/467266.htm


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