表面聲波化學(xué)傳感器( SAW)

表面聲波化學(xué)傳感器( SAW)

英國科學(xué)家Rayleigh 在19 世紀(jì)末發(fā)現(xiàn)了在固體表面?zhèn)鞑サ穆暡?即表面聲波[11 ] (有的文獻(xiàn)也稱為聲表面波,簡稱SAW) ,近幾十年來人們對SAW基本性質(zhì)的認(rèn)識越來越深入。1965 年美國White 和Voltmer[12 ]發(fā)明了能在壓電晶體材料表面上激勵(lì)表面波的金屬叉指換能器(interdigital transducer , IDT) ,使得SAW的應(yīng)用越來越廣泛。

SAW傳感器是電子技術(shù)與材料科學(xué)相結(jié)合的產(chǎn)物,它由SAW 振蕩器、敏感的界面膜材料和振蕩電路組成。SAW 傳感器的核心部件是SAW 振蕩器,由壓電材料基片和沉積在基片上不同功能的叉指換能器所組成,有延遲線型(DL 型) 和諧振器型(R 型) 兩種,如圖3 所示:

圖3 　SAW振蕩器類型 Fig. 3 　Type of SAW sensors
金屬電極材料被蒸發(fā)或?yàn)R射到壓電基片上成叉指狀,形成產(chǎn)生表面聲波的部件。沿基片傳播的表面聲波由叉指電極激勵(lì),當(dāng)基片或基片上覆蓋的特異薄膜材料受被測對象調(diào)制時(shí),其表面聲波的工作
頻率將改變并由接收叉指電極(經(jīng)相反機(jī)理) 接收,從而構(gòu)成頻率輸出的傳感器。1984 年Wohlfjen 等[13 ] 首先提出了表面聲波化學(xué)傳感器的質(zhì)量響應(yīng)關(guān)系式:

該式與Sauerbrey 方程(4) 具有相同的形式,反映了質(zhì)量變化對頻移的影響,即振蕩頻率隨基片或基片所覆蓋的薄膜上吸附物質(zhì)的質(zhì)量增加而減小。由于QCM的基頻只能到幾十MHz ,而SAW的基頻可以達(dá)到GHz 水平,因此SAW化學(xué)傳感器比QCM 化學(xué)傳感器更為靈敏,其檢測下限理論上可達(dá)fg。

從上可以看出,質(zhì)量敏感性壓電化學(xué)傳感器QCM和SAW的原理是傳感器的敏感元件與被測物相互作用時(shí),引起振蕩器自身聲波參數(shù)振幅、頻率、波速等的變化,通過測量頻率變化而獲得測量量的質(zhì)量P濃度信息。