MEMS建模--從設計到制造

MEMS 模型由系統(tǒng)和IC 設計師使用，因此模型應當盡可能緊密地集成到用戶的設計流程。對于IC 設計師，這需要模型支持所有模擬器，具有設計流程中的各種實體化等級的多種視圖。實現(xiàn)這一功能并非易事，需要考慮質量保證、模型驗證和實驗室管理的最佳實踐。如果采用特別方法，模型使用將受損。為了促進建模流程的更大結構化，各公司應當采用設計套件。這些套件類似于鑄造車間提供的標準IC 設計套件，執(zhí)行所提到的最佳方法。

傳感器公司應當期望增加目前和可預見未來可提供的任何商用工具。MEMS設計流程中使用的工具和方法必須支持自動化模型生成、相對于系統(tǒng)性能的變量參數(shù)化、可擴展模型和IC 設計流程集成。但是最顯而易見的是，需要投資建立可靠的統(tǒng)計模型，它能捕捉制造分布，并能讓設計環(huán)境與制造場所隨時保持一致。捕捉所討論的所有元素的MEMS流程對于實現(xiàn)下一代傳感器產(chǎn)品的最佳解決方案非常關鍵。