低壓超級接面結(jié)構(gòu)優(yōu)化MOSFET性能

采用超級接面結(jié)構(gòu)設(shè)計不僅可克服現(xiàn)有功率MOSFET結(jié)構(gòu)的缺點，亦能達(dá)到低RDS(on)、低QG和低QGD等特性，確保在兼顧晶片尺寸與功耗的前提下，提升DC-DC轉(zhuǎn)換效率與功率密度。

　　藉由對同步交流對交流(DC-DC)轉(zhuǎn)換器的功耗機制進(jìn)行詳細(xì)分析，可以界定必須要改進(jìn)的關(guān)鍵金屬氧化物半導(dǎo)體場效電晶體(MOSFET)參數(shù)，進(jìn)而確保持續(xù)提升系統(tǒng)效率和功率密度。

　　分析顯示，在研發(fā)功率MOSFET技術(shù)的過程中，以往常見以QG和QGD(意即RDS(on)×QG和RDS(on)×QGD)為基礎(chǔ)的因數(shù)(FOM)已無法滿足需求，若堅持采用固定因數(shù)，將可能導(dǎo)致技術(shù)選擇無法達(dá)成最佳化。藉由此次分析的啟示，工程師們已定義一套FOM以應(yīng)用于新的低壓功率MOSFET技術(shù)研發(fā)。由此產(chǎn)生的30伏特(V)技術(shù)以超級接面(Superjunction)為基礎(chǔ)概念，是DC-DC轉(zhuǎn)換器的理想選擇;相較于橫向和分裂閘極溝槽MOSFET等競爭技術(shù)，該技術(shù)可同時提供特定的低RDS(on)、QG、QGD、QOSS和高度閘極回跳抑制。

　　MOSFET損耗問題加劇　催生新功耗分析技術(shù)

　　多相同步降壓轉(zhuǎn)換器是微控制器(MCU)以及其他運算密集型積體電路(IC)，如數(shù)位訊號處理器(DSP)和繪圖處理器(GPU)供電的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)選擇。在同步降壓轉(zhuǎn)換器內(nèi)，兩個功率MOSFET串聯(lián)形成半橋結(jié)構(gòu)。高處的MOSFET做為控制單結(jié)型FET;低處的MOSFET則為同步FET。

　　此電路拓?fù)溲葑兊年P(guān)鍵點在于2000年時，引進(jìn)Pentium 4微處理器以及相關(guān)的ATX12V電源規(guī)范，其中的功率軌(即轉(zhuǎn)換電壓)從5伏特提高至12伏特，以達(dá)成微處理器須要快速增加電流的要求。因此而產(chǎn)生的工作周期變化使得功率MOSFET在性能優(yōu)化方面發(fā)生重大變革，并全面采用QGD×RDS(on)和QG×RDS(on)等效益指數(shù)作為功率MOSFET的性能指標(biāo)。然而，過去10年以來，特定尺寸產(chǎn)品中此類FOM和RDS(on)已降低約十倍，QG和QGD已不再是影響功率MOSFET功耗的主要因素。

　　就控制FET而言，MOSFET封裝和印刷電路板(PCB)連線的寄生電感所產(chǎn)生的功耗可能超過由QGD產(chǎn)生的損耗。降低寄生電感的需求推動Power SO8封裝的普及化，并使整合動力的概念于2002年產(chǎn)生，意即將控制和同步FET與MOSFET驅(qū)動器整合于四方形平面無接腳封裝(QFN)中，此概念于2004年獲英特爾(Intel)DrMOS規(guī)范采用。

　　為因應(yīng)功率MOSFET多面性的損耗，一系列日趨復(fù)雜的運算方式和效益指數(shù)逐被提出。在功耗機制研究領(lǐng)域中，最被看好的技術(shù)是利用如TSuprem4和Medici等TCAD工具制作詳細(xì)的行為模型，并結(jié)合詳細(xì)的電路模擬(如PSpice)，進(jìn)而產(chǎn)生詳細(xì)的功耗分析結(jié)果。雖然此方法可針對不同的功耗機制進(jìn)行深入分析，但分析結(jié)果須轉(zhuǎn)換成一套以MOSFET參數(shù)為基礎(chǔ)的FOM，以用于新技術(shù)的研發(fā)。

　　確認(rèn)效益因數(shù)有助技術(shù)最佳化

　　為使DC-DC轉(zhuǎn)換中采用的MOSFET技術(shù)達(dá)成最佳化，首先須確定對目標(biāo)應(yīng)用的性能造成影響的關(guān)鍵元件參數(shù)為何。透過功耗機制分析得出的這些參數(shù)通常為一組關(guān)鍵效益因數(shù)(性能指標(biāo))，在確認(rèn)任何效益因數(shù)的有效性為實際限值(如可用尺寸和成本)時，功耗分析所采用的假設(shè)前提相當(dāng)重要。表1列出了用于新的功率MOSFET技術(shù)研發(fā)的FOM。

　　前三項性能指標(biāo)已廣泛用于評估技術(shù)的適用性，因此無須多作介紹，其僅用于告知設(shè)計工程師須盡可能減少單位面積上的RDS(on)值(即Sp.RDS(on))，以確保晶片在有限的封裝尺寸內(nèi)達(dá)成最高的功效。且對于特定的RDS(on)，要盡量降低MOSFET電容CGS和CGD，以達(dá)成最低開關(guān)損耗。

　　第四個FOM為COSS，與降低輸出電容有關(guān)，其重要性將逐漸增加。原因來自兩方面：第一，同步FET的閘極電荷損失已大幅降低，輸出電容充放電時產(chǎn)生的電荷損耗水準(zhǔn)已大致相當(dāng)。第二，控制FET的QGD相當(dāng)微小，以致于影響電壓升降時間的因素為電路電感對輸出電容進(jìn)行充電的時間，而非電路提供所需閘控充電的能力。在此請?zhí)貏e注意，表1中未列出儲存電荷Qrr，并非Qrr可忽略不計，而是因為采用與上述降低Sp.RDS(on)相同的技術(shù)使其獲得改善，此技術(shù)包含提高單元密度(導(dǎo)因于本體偏置效應(yīng))和削減漂移區(qū)塊等。

　　設(shè)計一款高性能MOSFET須在特定的參數(shù)之間做出權(quán)衡。例如，欲改善RDS(on)×QGD，可透過加大單元間距、犧牲Sp.RDS(on)而完成，亦可透過增加一個連接源極的閘極遮罩、犧牲RDS(on)×QOSS而完成。為避免產(chǎn)生不符理想的元件結(jié)構(gòu)，須綜合這些FOM。此概念已被應(yīng)用于生產(chǎn)綜合加權(quán)同步FET(FET CWS)FOM，即綜合考量閘極電荷和輸出電容功耗的效應(yīng)。此種FOM組合有助于對元件性能做出更精確的評估，此外，透過將轉(zhuǎn)換電壓和閘極驅(qū)動電壓(VIN和VDR)合并后，QG和QOSS的相對重要性取決于應(yīng)用方式，進(jìn)而確保改善后的閘極電荷不會對輸出電容產(chǎn)生不利影響，反之亦然。

　　隨著小尺寸封裝晶片(如QFN3333)和多晶片產(chǎn)品(如DrMOS)的使用越來越為廣泛，將低Sp.RDS(on)與低開關(guān)FOM相結(jié)合的確有其必要性。面積限制同步(Area Constrained sync, ACS)FET FOM組合即是透過降低RDS(on)以提高開關(guān)性能，因此須要比封裝允許值更大的活動區(qū)域。請注意，該FOM不僅是一項單純的性能指標(biāo)，亦關(guān)系到該技術(shù)是否有能力達(dá)成各項性能指標(biāo)在特定空間限制下所認(rèn)定的潛能。因此，在進(jìn)行技術(shù)比較時，須留意此點。

　　在理想狀態(tài)下，對于CWS和ACS FOM而言，QG應(yīng)在VDS=0和VGS=4.5伏特的條件下進(jìn)行測量。若無法達(dá)成上述條件，可根據(jù)閘極電荷曲線，利用公式1計算QG。公式中的QG1、QG2分別為VDS1和VDS2條件下測得的閘極電荷，此兩點均取自于閘極電荷曲線中QGD的部分之后。

　　QG=4.5V×(QG1-QG2)/(VDS1-VDS2)¨¨¨¨(公式1)

　　輸出電荷是一般資料手冊中不會提及的另一參數(shù)，但使用者可根據(jù)輸出電容進(jìn)行估算。當(dāng)轉(zhuǎn)換電壓為12伏特時，假設(shè)理想的pn接面電壓為0.7伏特，則QOSS可用公式2計算，其中Vm用以表示測量COSS時的電壓。