變面積型電容傳感器

變面積型電容傳感器中，平板形結(jié)構(gòu)對極距變化特別敏感，測量精度受到影響。而圓柱形結(jié)構(gòu)受極板徑向變化的影響很小，成為實(shí)際中最常采用的結(jié)構(gòu)，其中線位移單組式的電容量C在忽略邊緣效應(yīng)時為

l—外圓筒與內(nèi)圓柱覆蓋部分的長度；
r2、r1 —圓筒內(nèi)半徑和內(nèi)圓柱外半徑。
當(dāng)兩圓筒相對移動Δl時，電容變化量ΔC為

這類傳感器具有良好的線性,大多用來檢測位移等參數(shù)。

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