MOSFET的基本結構電路圖
圖所示為IR功率MOSFET的基本結構。圖中每一個六角形是一個MOSFET的原胞(cell)。正因為原胞是六角形的(hexangular),因而IR常把它稱為HEXFET。功率MOSFET通常由許多個MOSFET原胞組成。已風行了十余年的IR第三代(Gen-3)HEXFET每平方厘米約有18萬個原胞,目前世界上密度最高的IR第八代(Gen-8)HEXFET每平方厘米已有1740萬個原胞。這就完全可以理解,現(xiàn)代功率半導體器件的精細工藝已和微電子電路相當。新一代功率器件的制造技術已進入亞微米時代。
圖1
圖中已標明了漏(Drain)和源(Source)。漏源之間的電流通過一個溝道(Channel)上的柵(Gate)來控制。按MOSFET的原意,MOS代表金屬(Metal)-氧化物(Oxide)-半導體(Semiconductor),即以金屬層(M)的柵極隔著氧化層(O)利用電場的效應來控制半導體(S)。FET(FieldEffectTransistor場效應晶體管)的名字也由此而來。然而我們從圖1中可以看到,HEXFET中的柵極并不是金屬做的,而是用多晶硅(Poly)來做柵極,這也就是圖中所注明的硅柵極(SiliconGate)。IR在1978年時是用金屬做柵極的,1979年的Gen-1HEXFET是世界上第一個采用多晶硅柵極的多原胞型功率MOSFET。
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