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針對工業(yè)應(yīng)用的創(chuàng)新MEMS傳感器概述

作者: 時(shí)間:2009-01-11 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
Analog Devices的ADIS16209雙模測斜儀和Omron Electronic Components的D6F-P流速傳感器這兩個(gè)基于MEMS的器件仍然略勝一籌。

  了解傾度

  測斜儀也叫傾斜傳感器,是一個(gè)可進(jìn)行高精確度測量的高度集成、可編程的雙軸器件。它非常適合用于需要測量傾度變化的工業(yè)應(yīng)用,包括測量設(shè)備、工廠機(jī)械工具、衛(wèi)星天線穩(wěn)定性系統(tǒng)以及汽車車輪調(diào)準(zhǔn)。

  其輸出為完全補(bǔ)償?shù)闹苯菧y量,并且線性傾度誤差不到0.1°,比同類競爭傾斜傳感器至少精確兩倍(圖1)。這是由于其嵌入式控制器的原因,該控制器采用工廠安裝的校準(zhǔn)系數(shù),動(dòng)態(tài)地感應(yīng)系統(tǒng)環(huán)境并補(bǔ)償直接數(shù)字角輸出,從而將電壓、溫度、角度和其它變量的變化計(jì)算在內(nèi)。

  

  

  

  

  “大多數(shù)工業(yè)客戶都沒有校準(zhǔn)慣性傳感器所需的裝置。他們需要一個(gè)經(jīng)過完全校準(zhǔn)和測試的器件,”Analog Devices公司iSensor業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Bob Scannell表示,“他們知道他們將從這個(gè)器件獲得一定級(jí)別的精確度。通過保證測斜儀的極高精確度,我們從本質(zhì)上降低了這個(gè)客戶群體的使用障礙?!?/P>

  盡管尺寸總是無關(guān)緊要,但是ADIS16209的尺寸極小,為9.2×9.2×3.9mm,比功能相同的測斜儀小100倍左右。該器件基于公司的iMEMS內(nèi)核,在水平安裝時(shí)可以測量±30°范圍的雙軸傾斜。由于其獨(dú)特的雙模操作,它支持整個(gè)360°范圍的垂直安裝單軸實(shí)現(xiàn)。

  可調(diào)諧數(shù)字傳感器數(shù)據(jù)通過工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)串行外設(shè)接口(SPI)端口輸出,該端口能以0.025°的精度測得傾度,以0.244mg的精度測得加速度。其千片批量單價(jià)為34.40美元。

  保持清潔

  Omron的D6F-P MEMS流速傳感器的亮點(diǎn)在于它集成了一個(gè)獨(dú)特的doublecyclone粉塵分離系統(tǒng)(DSS)。這使得該傳感器甚至能夠在HVAC和變風(fēng)量(VAV)系統(tǒng)等滿是灰塵的環(huán)境下通過使微粒遠(yuǎn)離MEMS傳感芯片來提供精確的結(jié)果。

  流速傳感器甚至可以在極低的流速下以高精確度和可重復(fù)性提供溫度補(bǔ)償?shù)脑鰪?qiáng)輸出信號(hào)。例如,這種精確度在復(fù)雜的地區(qū)溫度控制系統(tǒng)中非常重要,在這些系統(tǒng)中,新鮮空氣的正常入口需要避免“不良建筑物”。該器件具有緊湊的17×22mm占位面積,并且PCB終端允許風(fēng)門控制模塊直接與電路板相連。

  通過設(shè)計(jì),D6F-P的各批之間非常一致,不需要重新校準(zhǔn)。此外,同一側(cè)具有兩個(gè)口便于連接,不會(huì)使管子紐結(jié)。規(guī)格包括標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下每分鐘流過+1.0公升氣體(SLM)、壓力范圍為0.84in/H2O,最大壓力為50kPa (200in/H2O),模擬輸出信號(hào)為0.5~2.5V dc(0~0.5負(fù)流量指示)。

  雖然這些器件可以提供諸多優(yōu)于差壓傳感器的優(yōu)勢,但是由于成本原因MEMS流速傳感器未被廣泛采用。而D6F-P則具備成本效益,百片批量單價(jià)為47美元左右。其應(yīng)用包括風(fēng)門控制、通風(fēng)口罩、濾清器阻塞檢測、醫(yī)療設(shè)備、呼吸器和通風(fēng)設(shè)備、肺活量計(jì)、持續(xù)氣道正壓通氣(CPAP)設(shè)備、分析設(shè)備、環(huán)境分析儀和氣相色譜儀。

  



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