黃河公司啟動(dòng)國(guó)家科技重大專項(xiàng)電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)
9月16日,國(guó)家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(即:國(guó)家02專項(xiàng))電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)工作在黃河公司新能源分公司啟動(dòng)。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/263318.htm該項(xiàng)目由黃河公司新能源分公司和光伏技術(shù)中心共同承擔(dān),針對(duì)40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品進(jìn)行研發(fā)。公司2500噸/年多晶硅項(xiàng)目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》的首批企業(yè)之一,也是全國(guó)唯一一家能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)一等品多晶硅的企業(yè),成功填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體應(yīng)用材料的空白。
此次黃河公司承擔(dān)的40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品對(duì)純度和其參數(shù)有嚴(yán)格要求,該項(xiàng)目是通過(guò)精餾系統(tǒng)和還原爐系統(tǒng)生產(chǎn)過(guò)程中關(guān)鍵技術(shù)研究及工藝改進(jìn),來(lái)提高中間產(chǎn)品純度,并通過(guò)完善對(duì)中間產(chǎn)品和氫氣等關(guān)鍵材料的分析方法實(shí)現(xiàn)全過(guò)程質(zhì)量控制,完成產(chǎn)品質(zhì)量整體提升,預(yù)計(jì)2016年12月完成。項(xiàng)目的成功實(shí)施將打破中國(guó)40納米集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品完全依靠國(guó)外進(jìn)口的歷史。
據(jù)悉,公司申報(bào)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》(02專項(xiàng))電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)項(xiàng)目于今年5月26日由專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室正式批復(fù)同意,該項(xiàng)目將通過(guò)事后立項(xiàng)事后補(bǔ)助的方式,獲得國(guó)家財(cái)政補(bǔ)助。
新聞鏈接:02專項(xiàng),即:《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項(xiàng)目,因次序排在國(guó)家重大專項(xiàng)所列16個(gè)重大專項(xiàng)第二位,在行業(yè)內(nèi)被稱為“02專項(xiàng)”。
重大專項(xiàng)是為了實(shí)現(xiàn)國(guó)家目標(biāo),通過(guò)核心技術(shù)突破和資源集成,在一定時(shí)限內(nèi)完成的重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)和重大工程,是我國(guó)科技發(fā)展的重中之重。《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020)》確定了核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件,極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝,新一代寬帶無(wú)線移動(dòng)通信,高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造技術(shù),大型油氣田及煤層氣開發(fā),大型先進(jìn)壓水堆及高溫氣冷堆核電站,水體污染控制與治理,轉(zhuǎn)基因生物新品種培育,重大新藥創(chuàng)制,艾滋病和病毒性肝炎等重大傳染病防治,大型飛機(jī),高分辨率對(duì)地觀測(cè)系統(tǒng),載人航天與探月工程等16個(gè)重大專項(xiàng),涉及信息、生物等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,能源資源環(huán)境和人民健康等重大緊迫問(wèn)題,以及軍民兩用技術(shù)和國(guó)防技術(shù)。
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