掃描電鏡原理

　　導(dǎo)讀：本文主要講述的是掃描電鏡的原理，感興趣的童鞋們快來學(xué)習(xí)一下吧~~~很漲姿勢的哦~~~

1.掃描電鏡原理--簡介

　　掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。

2.掃描電鏡原理--構(gòu)成

　　掃描電鏡主要有真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。

　　1、真空系統(tǒng)：主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個密封的柱形容器。

　　2、電子束系統(tǒng)：由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。

　　3、成像系統(tǒng)：電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產(chǎn)生次級電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號。

3.掃描電鏡原理

　　掃面電鏡的工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?，再?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。為了使標(biāo)本表面發(fā)射出次級電子，標(biāo)本在固定、脫水后，要噴涂上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。

　　拓展閱讀:

　　1.掃描電子顯微鏡原理

　　2.電子顯微鏡原理

　　3.掃描電子顯微鏡的特點及工作原理