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Philips90納米射頻CMOS工藝性能破記錄

作者: 時間:2004-12-21 來源: 收藏

12月13日至15日在美國舊金山舉行的的美國電氣與電子工程師學會(IEEE)國際電子器件會議(IEDM)上,來自飛利浦的研發(fā)專家發(fā)表了17余篇關于尖端半導體研發(fā)的論文,詳細介紹了飛利浦與比利時微電子研究中心(IMEC)以及Crolles2聯(lián)盟(飛利浦、飛思卡爾半導體和ST微電子/意法半導體的合作聯(lián)盟)共同開展的研發(fā)項目。這些論文主要介紹65納米和45納米節(jié)點的CMOS工藝開發(fā), 以及90納米節(jié)點射頻CMOS創(chuàng)紀錄的性能。飛利浦首要的關注點是開發(fā)先進的CMOS工藝,以滿足消費產(chǎn)品應用對經(jīng)濟量產(chǎn)的生產(chǎn)要求。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/4200.htm

飛利浦半導體技術合作總經(jīng)理Fred van Roosmalen 表示:“如果不能以客戶要求的價格提供產(chǎn)品,即使擁有世界上最先進的半導體工藝也毫無意義。在消費電子領域,我們擁有豐富的經(jīng)驗和資源,擁有世界級的研究基地和設施,同時與其他世界領先的半導體公司和研究機構保持緊密合作,這為飛利浦提供了諸多優(yōu)勢,不斷開發(fā)新的硅解決方案,以滿足消費電子產(chǎn)業(yè)對性價比的要求。”

為推動Crolles2聯(lián)盟進一步進行工藝開發(fā),飛利浦與IMEC在先進的CMOS技術領域開展緊密合作。 這一尖端的研究協(xié)作是針對CMOS定標帶來的嚴肅挑戰(zhàn)而開展的,使飛利浦繼續(xù)在半導體產(chǎn)業(yè)前沿中保持極具競爭力的領導地位。

正是由于半導體產(chǎn)業(yè)成功地驗證了摩爾定律,即固定面積硅芯片上的晶體管的數(shù)量大約每兩年增長一倍這一推測成為現(xiàn)實, DVD播放機、數(shù)碼相機和手機等日用品的成本才得以降低,性能才得以提高。盡管采用與目前類似的技術應該可以實現(xiàn)從90納米到65納米的過渡,但是,要達到ITRS技術藍圖中 45納米和32納米的目標,半導體產(chǎn)業(yè)還是面臨著相當大的挑戰(zhàn)。

通常,從一個CMOS技術節(jié)點過渡到下一個節(jié)點,所需的功耗會減少,但是,由于晶體管的閘極氧化層的厚度是與信道長度成正比的,如果氧化層的厚度僅及幾個原子的厚度,漏電問題可能反而增加所需功耗。此外,新材料的采用極大地提高了工藝的復雜性,比如采用高K電介質克服閘極漏電,采用低K電介質減弱互連電容,以及采用新的金屬替代多晶硅閘極。



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