長野計(jì)器開發(fā)利用金屬玻璃的壓力傳感器

長野計(jì)器開發(fā)出了通過感壓部使用金屬玻璃實(shí)現(xiàn)了小型化及高靈敏度的壓力傳感器，并投入了使用。由于體積較小，因此可使用于原來無法安裝的小型油壓系統(tǒng)及機(jī)器人。此外還可應(yīng)用于加工計(jì)量控制、油壓計(jì)量控制以及汽車燃料噴射壓控制等。  

金屬玻璃是一種具有像玻璃一樣的非晶質(zhì)構(gòu)造的材料。由于沒有結(jié)晶粒界，所以具有比原有結(jié)晶質(zhì)合金更高的彈性及耐腐蝕性。在與玻璃相同的高溫下，可輕松變形，因此可利用鑄造等手段進(jìn)行精密再現(xiàn)。  

在此次的研究中，開發(fā)出了適用于壓力傳感器感壓部的金屬玻璃及其成型加工方法。在金屬玻璃的種類方面，分別面向高靈敏度用途及高耐壓用途，設(shè)定了鋯基型和鎳基型。通過利用金屬玻璃出色的再現(xiàn)性，實(shí)現(xiàn)了比直徑為5mm的原產(chǎn)品更小的體積。另外，在加工方法上，還開發(fā)出了“適于金屬材料的薄膜應(yīng)變計(jì)新蒸鍍方法”以及“面向接頭部件的新接合方法”。通過利用上述方法，實(shí)現(xiàn)了約為原來4倍的高靈敏度，以及為原來2倍以上的高耐壓性。  

該研究作為日本經(jīng)產(chǎn)省“革新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)出項(xiàng)目”，受日本新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機(jī)構(gòu)（NEDO）委托，通過“金屬玻璃成形加工技術(shù)項(xiàng)目”實(shí)施。在研究過程中，得到了日本東北大學(xué)校長井上明久以及青山制作所茨城工廠（總部：茨城縣常陸那坷市）等的協(xié)助。