諾發(fā)宣布推出VECTOR Extreme™等離子(PECVD)系統(tǒng)

諾發(fā)系統(tǒng)有限公司日前宣布推出VECTOR Extreme™等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng) ，該系統(tǒng)每小時(shí)的產(chǎn)量高達(dá)250片晶圓，是業(yè)界最快的PECVD設(shè)備。與市場(chǎng)上的其它系統(tǒng)相比，VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生產(chǎn)周期縮短40%以上。另外，工廠的晶圓庫(kù)存也將顯著降低，使客戶(hù)能靈活應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)不斷變化的需求。

消費(fèi)電子與電腦產(chǎn)品對(duì)固態(tài)存儲(chǔ)器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產(chǎn)能迅速增加。由于典型存儲(chǔ)器件的制造過(guò)程需要二十多道PECVD工序，因此在這些業(yè)界一流的高產(chǎn)能存儲(chǔ)器工廠中，PECVD系統(tǒng)生產(chǎn)量已日益成為影響總體生產(chǎn)周期時(shí)間與晶圓庫(kù)存水平的重要因素。

諾發(fā)公司的VECTOR Extreme平臺(tái)通過(guò)將三個(gè)多站式順序處理模塊以及多達(dá)12個(gè)沉積站集成在一個(gè)中心晶圓傳送室上，實(shí)現(xiàn)了業(yè)界最高的PECVD生產(chǎn)量。當(dāng)使用這種配置沉積存儲(chǔ)器件生產(chǎn)通常使用的較厚薄膜時(shí)，VECTOR Extreme可實(shí)現(xiàn)的生產(chǎn)量將是最接近競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的兩倍以上。

“隨著存儲(chǔ)器工廠紛紛上線(xiàn)運(yùn)行每月計(jì)劃晶圓產(chǎn)量超過(guò)100,000片的生產(chǎn)線(xiàn)，一個(gè)對(duì)系統(tǒng)生產(chǎn)量有特殊要求的全新PECVD細(xì)分市場(chǎng)已經(jīng)出現(xiàn)。”諾發(fā)公司電介質(zhì)事業(yè)部總經(jīng)理兼高級(jí)副總裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了這些超級(jí)晶圓廠的注意，因?yàn)樵撛O(shè)備的生產(chǎn)量高，從而能夠減少總設(shè)備數(shù)，縮短工廠生產(chǎn)周期，從而有助于最小化晶圓庫(kù)存并降低最終產(chǎn)品成本。”

諾發(fā)公司VECTOR系列的其它PECVD產(chǎn)品包括VECTOR Express™（于2007年3月推出）以及可實(shí)現(xiàn)可灰化硬掩膜(AHM)技術(shù)的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以來(lái)迅速得到全球市場(chǎng)的認(rèn)可，并已開(kāi)始批量供貨。

批量生產(chǎn)的VECTOR Extreme預(yù)計(jì)將于2007下半年開(kāi)始供貨。VECTOR Extreme實(shí)現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)量，同時(shí)還保持了諾發(fā)公司業(yè)經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的VECTOR Express PECVD系統(tǒng)的工藝透明性。