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ECI Technology的化學(xué)檢測系統(tǒng)成功在歐洲知名半導(dǎo)體研究中心裝載

作者： 時間：2009-03-09 來源：電子產(chǎn)品世界 收藏
        全球領(lǐng)先的濕法化學(xué)度量技術(shù)供應(yīng)商ECI Technology近日宣布一家歐洲知名的半導(dǎo)體研究中心成功裝載了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System（CMS）。ECI Technology將在近期舉行的SEMICON China中參展，展位號是4722。

        QLC-7500是一臺在線分析設(shè)備，可用來監(jiān)測和控制硅通孔（TSV）銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機成分和所有有機添加物的濃度。QLC-7XXX化學(xué)檢測系統(tǒng)是銅電鍍（大馬士革）工藝最常用的分析設(shè)備，全球主要的半導(dǎo)體制造商均選擇該系列設(shè)備。

本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/92191.htm

關(guān)鍵詞： ECI CMS 硅通孔

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