TFT高性能光刻膠國產(chǎn)化勢在必行

　　TFT-LCD產(chǎn)業(yè)是當今產(chǎn)業(yè)界幾個高成長產(chǎn)業(yè)之一。近10年來，日本、韓國及我國臺灣等國家和地區(qū)，已經(jīng)為它投資了上千億美元，形成地域相當集中、規(guī)模相當巨大的產(chǎn)業(yè)集群。

　　我國光刻膠用量逐年增加

　　中國液晶產(chǎn)業(yè)始于1980年，起步并不晚。但是我們長期限于TN、STN-LCD。在2003年后才真正開始大規(guī)模建設(shè)TFT-LCD生產(chǎn)線，目前已經(jīng)量產(chǎn)的廠家主要是京東方、上廣電、龍騰和深超光電4家，產(chǎn)能約占全球總產(chǎn)能的4%。

　　目前我國在建和待建的大尺寸TFT-LCD生產(chǎn)線共有8條，其中，京東方除了規(guī)劃在北京建設(shè)8代面板生產(chǎn)線外，在位于安徽合肥的6代線已于今年4月動工，位于四川成都的4.5代線則于去年動工。彩虹集團在江蘇省張家港的6代線也已動工。深圳天馬去年下半年在武漢、成都分別投資2條4.5代線，其中武漢4.5代線已投產(chǎn)。深圳萊寶有1條2.5代線正在興建中。昆山龍騰光電也正籌建1條7.5代線。

　　隨著我國TFT-LCD行業(yè)的迅速發(fā)展，專用高檔光刻膠市場廣闊，我國已經(jīng)建成投產(chǎn)的5代TFT-LCD生產(chǎn)線共需大約550噸～600噸/年的紫外正性光刻膠與之配套，在建及籌建的6代生產(chǎn)線約需500噸/年左右的紫外正性光刻膠與之配套，籌建中的7.5代生產(chǎn)線約需600噸/年左右的紫外正性光刻膠與之配套，而京東方籌建中的8代生產(chǎn)線預(yù)計年產(chǎn)能可達600萬片左右，僅此生產(chǎn)線所需配套的正膠就將超過1000噸/年的規(guī)模。到“十二五”期間，我國高端TFT-LCD生產(chǎn)線配套所需的高檔光刻膠將超過3000噸/年的規(guī)模。

　　目前為TFT-LCD生產(chǎn)線提供光刻膠產(chǎn)品的主要有日本的東京應(yīng)化(TOK)、美國的羅門哈斯(Rohm&Haas)、韓國的Dongjinsemichem和我國臺灣的永光化學(xué)。中國大陸尚無TFT-LCD生產(chǎn)線配套用的光刻膠的生產(chǎn)能力，全部依賴進口。

　　TFT光刻膠國產(chǎn)化迫在眉睫

　　光刻膠作為TFT-LCD產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵性基礎(chǔ)材料之一，是微電子化學(xué)品中技術(shù)含量最高的產(chǎn)品，其質(zhì)量的優(yōu)劣及制備技術(shù)的高低已成為制約我國高端TFT-LCD加工技術(shù)發(fā)展的瓶頸，其重要地位日益凸顯，因此專用TFT-LCD光刻膠的研發(fā)與國產(chǎn)化生產(chǎn)已經(jīng)迫在眉睫。

　　在TFT-LCD光刻膠國產(chǎn)化進程中，有若干關(guān)鍵問題需要解決。首先，從光刻膠本身的技術(shù)研究來看，在TFT-LCD制造過程中，與IC制作的硅晶圓相比，所使用的玻璃基板面積更大，要求配套使用的光刻膠能夠在寬闊的襯底表面形成形狀和尺寸等性能良好的抗蝕圖形，因此TFT-LCD對光刻膠的要求與IC制作過程中所使用的光刻膠有所不同，TFT-LCD用光刻膠必須具有良好的涂布均勻性，其感光速度快、曝光寬容度大，具有良好的線性、高對比度和高分辨率，與玻璃基板具有良好的粘附性和高抗蝕性。其中涂布均勻性和高感度尤為重要。

　　其次，在TFT-LCD光刻膠的上游原材料中，樹脂、感光劑、高純?nèi)軇┑仁瞧渲械闹饕牧?。當前國?nèi)材料存在質(zhì)量穩(wěn)定性的問題，光刻膠制造所需的大部分原料短期內(nèi)尚難實現(xiàn)國產(chǎn)化。隨著競爭的加劇，基礎(chǔ)原料的國產(chǎn)化有效降低產(chǎn)品成本將成為必然趨勢。在當前形勢下，國內(nèi)光刻膠公司可采取兩步走的方案解決原料國產(chǎn)化的問題：第一步，采用以自主知識產(chǎn)權(quán)的技術(shù)，委托國外的光刻膠原料公司為其生產(chǎn)原料的方式來解決目前的供貨。第二步，隨著光刻膠原料市場的逐漸成熟，生產(chǎn)產(chǎn)酸劑、樹脂及其他助劑的國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)一定會應(yīng)運而生的。到時候國內(nèi)的光刻膠公司必將會盡企業(yè)之所能與適時出現(xiàn)的原料生產(chǎn)廠商合作，這不僅能帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)光刻膠原料的國產(chǎn)化，也能降低企業(yè)的成本。這是水到渠成的事，于國、于民、于企業(yè)都有好處。

　　北京科華微電子材料有限公司在北京的天竺出口加工區(qū)完成了百噸級的高檔g線和i線正膠的建設(shè)，大大推進了國內(nèi)集成電路和液晶顯示業(yè)所需的高檔光刻膠本土化的實現(xiàn)進程。

　　科華微電子目前致力于TFT-LCD配套專用紫外正性光刻膠的生產(chǎn)及市場推廣，主要是在努力占領(lǐng)國內(nèi)已投產(chǎn)的5代生產(chǎn)線和在建及籌建中的6代及以上TFT-LCD制作方面的市場。這不僅將促進我國液晶顯示器件制作技術(shù)的發(fā)展，也將提高我國微電子材料方面的研制與生產(chǎn)技術(shù)水平，同時可以帶動我國精細化工材料、高純試劑的研發(fā)與生產(chǎn)技術(shù)水平的提高。