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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 光刻膠

三星大幅減少未來生產NAND所需光刻膠使用量

  • 據(jù)韓媒報道，稱三星電子在生產 3D NAND 閃存方面取得重大突破，在其中光刻工藝中大幅縮減光刻膠（PR）用量，降幅達到此前用量的一半。報道稱，此前每層涂層需要7-8cc的光刻膠，而三星通過精確控制涂布機的轉速（rpm）以及優(yōu)化PR涂層后的蝕刻工藝，現(xiàn)在只需4-4.5cc。此外，三星使用了更厚的氟化氪（KrF）光刻膠，通常情況下一次工藝形成1層涂層，而使用更厚的光刻膠，三星可以一次形成多個層，從而提高工藝效率，但同時也有均勻性問題。東進半導體一直是三星KrF光刻膠的獨家供應商，為三星第7代（11微米）和第
  • 關鍵字： 三星  光刻膠  3D NAND  

國產光刻膠通過量產驗證

  • 據(jù)中國光谷官微消息，近日，武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡稱“太紫微公司”）推出的T150 A光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現(xiàn)配方全自主設計，有望開創(chuàng)國內半導體光刻制造新局面。據(jù)悉，該產品對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱之為“妖膠”的國外同系列產品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質的側壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。據(jù)了
  • 關鍵字： 太紫微光電  光刻膠  光刻技術  

國產光刻膠通過量產驗證，武漢太紫微公司 T150 A 分辨率達 120nm

  • 10 月 15 日消息，據(jù)武漢東湖新技術開發(fā)區(qū)管理委員會（中國光谷）今日消息，光谷企業(yè)在半導體專用光刻膠領域實現(xiàn)重大突破：武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡稱“太紫微公司”）推出的 T150 A 光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現(xiàn)配方全自主設計，有望開創(chuàng)國內半導體光刻制造新局面。中國光谷官方介紹稱：“該產品對標國際頭部企業(yè)主流 KrF 光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱之為‘妖膠’的國外同系列產品 UV1610，T150 A 在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達到 120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅
  • 關鍵字： 光刻膠  半導體  太紫微光電  

芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)產業(yè)化項目開工

  • 4月25日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導體設備光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)研發(fā)及產業(yè)化項目開工儀式在廣州舉行。據(jù)官網(wǎng)介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，專業(yè)從事半導體生產設備的研發(fā)、生產、銷售與服務，致力于提供半導體裝備與工藝整體解決方案。芯源微所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品，已形成完整的技術體系和豐富的產品系列，產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產
  • 關鍵字： 光刻膠  芯源微  

國產光刻膠新突破！

  • 近日，華中科技大學與湖北九峰山實驗室的研究團隊在光刻膠技術領域取得重大進展，成功突破“雙非離子型光酸協(xié)同增強響應的化學放大光刻膠”技術。在半導體制造環(huán)節(jié)，光刻膠是不可或缺的材料，其質量和性能是影響集成電路電性、成品率及可靠性的關鍵因素。但光刻膠技術門檻高，市場上制程穩(wěn)定性高、工藝寬容度大、普適性強的光刻膠產品屈指可數(shù)。當半導體制造節(jié)點進入到100nm甚至是10nm以下，如何產生分辨率高且截面形貌優(yōu)良、線邊緣粗糙度低的光刻圖形，成為光刻制造的共性難題。為此，華中科技大學與九峰山實驗室聯(lián)合研究團隊通過巧妙的化
  • 關鍵字： 國產  光刻膠  

我國科研團隊完成新型光刻膠技術初步驗證：為EUV光刻膠開發(fā)做技術儲備

  • 4月2日消息，據(jù)湖北九峰山實驗室官微消息，九峰山實驗室、華中科技大學組成聯(lián)合研究團隊，支持華中科技大學團隊突破“雙非離子型光酸協(xié)同增強響應的化學放大光刻膠”技術。據(jù)介紹，該研究通過巧妙的化學結構設計，以兩種光敏單元構建“雙非離子型光酸協(xié)同增強響應的化學放大光刻膠”，最終得到光刻圖像形貌與線邊緣粗糙度優(yōu)良、space圖案寬度值正態(tài)分布標準差（SD）極?。s為0.05）、性能優(yōu)于大多數(shù)商用光刻膠。且光刻顯影各步驟所需時間完全符合半導體量產制造中對吞吐量和生產效率的需求。作為半導體制造不可或缺的材料，光刻膠質量
  • 關鍵字： 光刻膠  

這家企業(yè)欲收購光刻膠龍頭關鍵股份

  • 日本芯片材料廠商Resonac的首席執(zhí)行官Hidehito Takahashi正在為日本分散的芯片材料行業(yè)的另一輪整合做準備，并表示公司可能會出手收購JSR的關鍵股份。source：ResonacHidehito Takahashi表示，JIC（日本投資公司）斥60億美元收購全球最大光刻膠制造商JSR，這將促進日本供應鏈急需的變革。他說，Resonac是由Showa Denko （昭和電工）和Hitachi Chemical （日立化成）合并而成的化學品集團，正在考慮如何在JSR的未來中發(fā)揮積極作
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JSR或1萬億日元被收購，全球光刻膠競爭加劇？

  • JSR捷時雅株式會社自1979年4月開始銷售光刻膠，至今向半導體行業(yè)供應光刻材料、CMP材料和封裝材料等已有四十余載。日本JSR、東京日化、信越化工幾近掌握著全球EUV光刻膠的市場份額。此次JSR如若成功被收購，或將對全球光刻膠市場帶來重要影響。看重JSR這塊香餑餑，JIC準備收購6月24日，日經(jīng)新聞報道，日本政府支持的日本投資公司（JIC）正商談以1萬億日元收購JSR。日本投資公司計劃最早今年提出初步收購意向。如果進展順利，JSR可能會在2024年被東京證交所摘牌。官方資料顯示，JSR成立于1957年，
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三星首次采用韓國本土EUV光刻膠 打破日企壟斷

  • 據(jù)報道，三星首次引入韓國本土公司東進世美肯（Dongjin Semichem）研發(fā)的EUV光刻膠（EUV PR）進入其量產線，這也是三星進行光刻膠本土量產的首次嘗試。在2019年經(jīng)歷與日本的光刻膠等關鍵原料的供應風波之后，三星就在嘗試將關鍵原料的供應本土化，經(jīng)過三年的努力，韓國實現(xiàn)了光刻膠本地化生產。在日本限制出口、三星嘗試重構EUV光刻膠的供應鏈之后，東進世美肯就已開始研發(fā)EUV光刻膠，并在去年通過了三星的可靠性測試，隨后不到一年就被應用于三星的大規(guī)模生產線。不過，EUV光刻膠可用于3-50道程序，目前
  • 關鍵字： 三星  韓國  EUV  光刻膠  

三星首次引進本土生產光刻膠，日本稱霸該市場

  • 12 月 4 日消息，據(jù) ETNews 消息，三星電子首次引入東進世美肯半導體的光刻膠進入其量產線，這也是三星進行光刻膠本土量產的首次嘗試。不過考慮到三星與海外光刻膠供應商的關系，目前具體產量尚不清楚，且三星是否會額外引進其他品種的光刻膠也并沒有得到回應。報道稱，三星電子已將韓國公司開發(fā)的用于高科技工藝的極紫外光刻膠（PR）引入其大規(guī)模生產線。2019 年 7 月，日本方面宣布限制向韓國出口包括含氟聚酰亞胺、光刻膠以及高純度氟化氫在內的三項重要半導體及 OLED 面板原材料，經(jīng)過三年的努力，韓國實現(xiàn)了光刻
  • 關鍵字： 三星  光刻機  光刻膠  

日本光刻膠大廠旗下工廠發(fā)生爆炸事故

  • 3月3日消息，日媒報道，當?shù)貢r間3月1日14時，位于日本宮崎縣延岡市水尻町的旭化成集團“Kayak Japan”東海工廠突然發(fā)生爆炸和火災。目前已確認，事故造成至少一人受傷、一人失蹤。據(jù)旭化成延岡分公司透露，該工廠主要制造炸隧道、礦山等工程、國防用的火藥材料，爆炸發(fā)生實驗設施內，具體愿意還在調查中。旭化成（Asahi Kasei）成立于1922年，總部位于日本東京，是日本排名前三位的綜合性化工企業(yè)集團，集團下設化學、建筑、電子、醫(yī)療四大業(yè)務板塊，年銷售額約合1200億元人民幣。目前旭化成是世界最大
  • 關鍵字： 日本  光刻膠  

中國半導體行業(yè)10大光刻膠企業(yè)

  • 什么是光刻膠？為什么它在半導體領域如此之重要？光刻膠又叫光致抗蝕劑，制造一塊芯片往往要對硅片進行數(shù)十次光刻，除了用到光刻機，還要添加光刻膠作為抗腐蝕涂層。這是一種高頻剛需的材料，光刻膠生產技術較為復雜，品種規(guī)格較多，在電子工業(yè)集成電路的制造中，對所使用光刻膠有嚴格的要求。說到材料就進入了今天的主題，我們不得不接受一個殘酷的現(xiàn)實，中國大陸不僅造不出光刻機、光刻膠領域也被卡脖子了。今年五月份，日本對中國光刻膠提出了斷供，直接導致國內多家晶圓廠將會面臨大缺貨的處境，按照工藝的先進程度，光刻膠依次分為G線、I線、
  • 關鍵字： 光刻膠  

比芯片更讓人擔憂：光刻膠自給率不足5%，50nm工藝以下全靠進口

  • 　　最近，關于日本光刻膠或斷供部分國內芯片企業(yè)的消息，不時地傳出。原因在于日本的光刻膠產能沒有提升，且全球第五大光刻膠生產企業(yè)信越化學（日本企業(yè)）KrF光刻膠福島工廠關閉，產能受限，但全球芯片的產能在不斷的提升，于是光刻膠也開始供不應求了?！　∠鄳?，這些光刻膠廠商肯定優(yōu)先供應大客戶，中國的這些小客戶自然優(yōu)先級排在后面，所以也就有可能面臨斷供的風險?！　『芏嗳吮硎?，斷供能夠逼著我們的光刻膠前進，話是這樣沒錯，但說實話，目前國內光刻膠技術與日本或者說國際領先水平差太遠，一旦斷供，國產頂不上，影響還是很大的。
  • 關鍵字： 光刻膠  芯片    

中國芯片產業(yè)再破“卡脖子”，華為迎來新希望

  • 2019年5月份時，美國將華為列入到所謂的實體名單，之后在2020年，又對華為進行了兩次無理的打壓，使得華為在芯片方面難以得到供應，甚至連芯片代工也無法實現(xiàn)。正是因此，華為在2020年11月份，將榮耀整體出售，而華為的手機業(yè)務也受到很大的影響，因為芯片供應短缺，使得華為的手機市場份額，已經(jīng)不再世界前五。不過我們看到，華為已經(jīng)找到了新的賽道，那就是智能電動汽車領域，華為給自己的定位，是成為該領域的增量部件提供商，這與手機業(yè)務的市場策略很不一樣。在智能手機上，華為的角色是一家整機廠商，其定位是產業(yè)鏈的下游；而
  • 關鍵字： 光刻機  光刻膠  南大光電  
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光刻膠介紹

光刻膠-正文 　　又稱光致抗蝕劑，由感光樹脂、增感劑（見光譜增感染料）和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當?shù)娜軇┨幚?，溶去可溶性部分，得到所需圖像（見圖）。光刻膠廣泛用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過程。光刻膠的技術復雜，品種較多。根據(jù)其化學反應機理和顯影原理， [ 查看詳細 ]

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