掩模版制造考驗中國潔凈室設(shè)計建造水平

　　目前，我國潔凈廠房的整體發(fā)展速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于歐美國家，特別是設(shè)計、建造技術(shù)還存在很大的差距。電子行業(yè)潔凈廠房的建設(shè)雖然已經(jīng)發(fā)展到了一個全新的時代，但目前仍不得不面臨技術(shù)水平要求相對粗放，設(shè)計、施工周期相對緊迫的現(xiàn)狀。這使得精品工程少，能夠做精品工程的企業(yè)更少，許多企業(yè)都在追求利益最大化，工程質(zhì)量參差不齊。因此，越是規(guī)范的企業(yè)所承受的壓力越大。

　　在電子行業(yè)，規(guī)范、精細(xì)化的要求將滲透到企業(yè)的每一個環(huán)節(jié)，同時對潔凈廠房的建設(shè)要求也會越來越高。凈化企業(yè)很難僅僅依靠價格優(yōu)勢、施工速度占領(lǐng)市場，而是要靠新技術(shù)和施工綜合管理水平贏得市場份額。只有技術(shù)超前、質(zhì)量過關(guān)的凈化企業(yè)才能滿足標(biāo)準(zhǔn)。同時，國內(nèi)企業(yè)還必須擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，以應(yīng)對外國企業(yè)的競爭。

　　我國電子信息產(chǎn)業(yè)將持續(xù)發(fā)展，國內(nèi)企業(yè)必須做好依靠精品工程獲取利潤的準(zhǔn)備。由碧海永樂設(shè)計并建造的清溢TFT-LCD掩模版項目就是最好的例證。該項目潔凈室空氣潔凈度等級為1級(美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209，相當(dāng)于國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3級)和10級(美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209，相當(dāng)于國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4級)，且面積達(dá)到800平方米。該工程不僅潔凈度要求較高，同時對溫度、相對濕度、防微振、防靜電等相關(guān)參數(shù)的要求也遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出一般設(shè)計要求，對設(shè)計人員的設(shè)計水平是一個嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。

　　為了滿足高級別潔凈度的要求，在設(shè)計、建造過程中，碧海永樂堅持科技領(lǐng)先、創(chuàng)新工藝設(shè)計。針對空氣過濾，采用了空氣凈化系統(tǒng)6級過濾流程——— 初效、中效、化學(xué)、中效、高效、超高效(終端)，實踐證明行之有效。在ISO3級和ISO 4級潔凈室，斷面風(fēng)速采用0.35m/s，結(jié)果證明氣流組織合理。在項目設(shè)計、建設(shè)過程中，工程人員還引入了國際理念，在國內(nèi)首次采用《潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境》性能及合理性評價準(zhǔn)則，對潔凈室的全過程進(jìn)行控制，達(dá)到了預(yù)期效果。行業(yè)專家認(rèn)為，該項目潔凈室HVAC系統(tǒng)(MAU+FFU+DC)合理可行。經(jīng)美國專業(yè)公司采用國際標(biāo)準(zhǔn)測試，該項目潔凈室溫度、相對濕度、潔凈度、壓力梯度等潔凈室主要參數(shù)均達(dá)到TFT-LCD掩模版工藝生產(chǎn)要求。

　　2007年11月28日，備受國內(nèi)外潔凈室建造界關(guān)注的“中國第一潔凈室”——— 清溢精密光電TFT掩模版項目正式竣工。這標(biāo)志著我國1級、10級潔凈室設(shè)計建造不能完全獨(dú)立完成的歷史的結(jié)束，充分展示了我國潔凈室建設(shè)的超高水平。該項目是第一家由國內(nèi)凈化公司獨(dú)立完成設(shè)計、施工的1級凈化項目，標(biāo)志著我國已擁有國際潔凈室設(shè)計建造的最先進(jìn)水平。