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用可編程模擬電路實現(xiàn)MEMS陀螺儀測量系統(tǒng)

MEMS運動傳感器有助于提高手持設(shè)備的可靠性

正確選擇汽車胎壓監(jiān)測系統(tǒng)使用的各種MEMS傳感器

用RF-MEMS實現(xiàn)可調(diào)諧天線

利用MEMS麥克風(fēng)改善移動設(shè)備聲學(xué)性能

MEMS技術(shù)的發(fā)展歷史

  • MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成電信號。后來的電路則
  • 關(guān)鍵字： 發(fā)展歷史  技術(shù)  MEMS  

基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設(shè)計

  • 　　在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數(shù)對于魚類仿生推進機理研究及工程應(yīng)用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測方法。這種方法受到環(huán)境與設(shè)備的限制，結(jié)果精確度較差。本設(shè)計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現(xiàn)了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數(shù)的精確測量，為國內(nèi)首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數(shù)測量實驗打下了基礎(chǔ)，為機器魚仿生推進設(shè)計理論提供支撐。 　　1 設(shè)計要求和系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 　　根據(jù)活體魚類的生物特征和實驗本身的特
  • 關(guān)鍵字： ARM MEMS   

射頻工藝和手機射頻元件的集成策略

閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計與驅(qū)動仿真

  • 　　基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為：平行的復(fù)合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅(qū)動電路驅(qū)動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉(zhuǎn)不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經(jīng)過成像鏡頭后形成彩色畫面。 　　微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計的基本要求 　　閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達到便攜應(yīng)用和投影應(yīng)用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計需滿足以下基本要求。 　　盡可能減小顯示單元的尺寸 　　為了得到準(zhǔn)確的基色，要求
  • 關(guān)鍵字： MEMS  閃耀光柵數(shù)字微鏡  結(jié)構(gòu)  驅(qū)動  

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統(tǒng)

  • 摘要：傳感器技術(shù)是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術(shù)的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2-18。 關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調(diào)理；檢測電路 電容式傳感器工作原理 ?　　電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
  • 關(guān)鍵字： 單電容式  差分電容式  MEMS  傳感器  200803  

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

  • 　　1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
  • 關(guān)鍵字： MEMS  

MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計與制作

  • 　　1 引言 　　風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來測量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風(fēng)向。超聲測風(fēng)儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應(yīng)測量風(fēng)速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關(guān)系測量風(fēng)向信息?；贛EMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測量傳感器受到了研究者的重視。 　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
  • 關(guān)鍵字： MEMS  

MEMS傳感器進駐汽車發(fā)動機

  • 　　近年來，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (微電子機械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀(jì)80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  

MEMS機油壓力傳感器可靠性研究

  • 1 引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  

汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

  • 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。 關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機電系統(tǒng)、力敏器件。 一、引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  
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