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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 刻蝕機

先鋒半導體實現(xiàn)刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，配套臺積電全球首條5nm產(chǎn)線

  • 據(jù)泰州日報報道，靖江先鋒半導體科技有限公司實現(xiàn)了大規(guī)格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產(chǎn)化，并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線。報道指出，先鋒半導體公司總經(jīng)理游利介紹，噴淋盤是芯片制造設備刻蝕機的主要部件，先鋒半導體產(chǎn)品將用于中微半導體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機，并應用于臺積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線。資料顯示，先鋒半導體成立于2008年，是一家從事半導體器件、集成電路專用設備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷售、服務于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品主要應用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備，供應給國內(nèi)外半導
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采用北方華創(chuàng)刻蝕機，燕東微北京8英寸項目首批設備搬入

  • 近日，北京燕東微電子有限公司（以下簡稱“燕東微電子”）8英寸生產(chǎn)線建設項目舉行了首批設備搬入儀式。
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國產(chǎn)刻蝕機很棒，但造芯片只是“配角”

  • 中微公司的刻蝕機的確水平一流，但夸大闡述其戰(zhàn)略意義，則被相關(guān)專家反對?？涛g只是芯片制造多個環(huán)節(jié)之一?？涛g機也不是對華禁售的設備，在這個意義上不算“卡脖子”。
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重磅！國產(chǎn)5nm刻蝕機通過驗證，將用于臺積電5nm芯片制造！

  • 　　近日，臺積電對外宣布，將在2019年第二季度進行5nm制程風險試產(chǎn)，預計2020年量產(chǎn)。與此同時，中微半導體也向“上觀新聞”透露了一個重磅消息，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線?！　≈档靡惶岬氖?，中微半導體也是唯一進入臺積電7nm制程蝕刻設備的大陸本土設備商。據(jù)悉，中微半導體與臺積電在28nm制程時便已開始合作，并一直延續(xù)到10nm和7nm制程。　　而中微半導體如此亮眼成績的背后，離不開尹志堯和他團隊的多年努力?！　∷艞墖獍偃f年薪工作，只為一顆
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七星電子概況

  • 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)是國內(nèi)知名電子專用設備供應商，是我國最早的半導體設備研制企業(yè)，是我國第一臺半導體擴散爐、第一臺等離子刻蝕機、第一臺氣體質(zhì)量流量控制器研制企業(yè)，也是我國最早的半導體清洗設備研制企業(yè)，完成國內(nèi)首條半導體生產(chǎn)線中6項關(guān)鍵設備的研發(fā)制造。
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中國電科48所躋身光伏設備制造全球十強

  • 　　記者從中國電科第48研究所(以下簡稱“48所”)獲悉，近日，由VLSI Research發(fā)布的2010年度光伏設備制造商排名顯示，該所成為首個躋身光伏裝備制造業(yè)全球十強的中國企業(yè)?！?/li>
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國產(chǎn)半導體裝備業(yè)發(fā)展道路光明而曲折

  • 　　目前，我國半導體設備產(chǎn)業(yè)最大的特點是低成本。中國半導體設備進入市場有助于降低整個產(chǎn)業(yè)的成本，這是國產(chǎn)設備對整個產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻，同時也是國產(chǎn)設備的發(fā)展機會。上海微電子裝備公司的封裝光刻機、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機、盛美的清洗設備、中微的12英寸刻蝕機等都是非常有競爭力的設備，很多產(chǎn)品已經(jīng)走出國門。這些都是最近幾年中國半導體設備產(chǎn)業(yè)的亮點。當然這些成績也只是國產(chǎn)設備的初步發(fā)展，要真正做到國產(chǎn)高端設備全面進入國內(nèi)和國際兩個市場還需要付出相當多的努力。 　　
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中微半導體加速亞洲市場布局

  • 　　中微半導體設備有限公司 (AMEC) 近日在舊金山宣布公司在亞洲市場的份額不斷增長。自從2007年在日本的SEMICON隆重推出其高端的雙反應臺，去耦合反應離子刻蝕設備以來，中微公司的設備已經(jīng)先后進入亞洲3個地區(qū)5家先進的芯片制造企業(yè)，并得到了多個重復訂單。中微公司 Primo D-RIE(TM) 刻蝕機被客戶用于65/45納米及更高端制造，而新的訂單已經(jīng)排到年底。最近以來，中微公司的刻蝕設備以其高產(chǎn)能，可靠性及成本優(yōu)勢吸引越來越多的尋求以高性價比刻蝕技術(shù)來滿足高端的 TSV 應用的封裝客戶。中微公司
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臺積電提出其10大優(yōu)秀供應商

  • 　　根據(jù)過去年來的貢獻大小臺積電提出10大設備和材料優(yōu)秀供應商。 　　臺積電的高級副總裁及CIO Stephen Tso是這樣描述的，為了解決人類的共同問題，環(huán)境氣候變暖等。在如此挑戰(zhàn)的時代中，非常高興地看到大家對于臺積電如此的支持，并希望今后繼續(xù)攜起手來加強合作，共同面對未來的更大挑戰(zhàn)。 　　被臺積電提名的供應商如下： 　　設備類 　　最優(yōu)秀產(chǎn)品：日本Ebara(CMP)，國際電氣(高溫爐) 　　最佳支持：日本大日本網(wǎng)板(濕法清洗)，Varian(離子注入機) 　　最佳技術(shù)合作：ASML(光
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刻蝕機介紹

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