國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)發(fā)展道路光明而曲折

　　目前，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)最大的特點(diǎn)是低成本。中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入市場(chǎng)有助于降低整個(gè)產(chǎn)業(yè)的成本，這是國(guó)產(chǎn)設(shè)備對(duì)整個(gè)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻(xiàn)，同時(shí)也是國(guó)產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展機(jī)會(huì)。上海微電子裝備公司的封裝光刻機(jī)、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機(jī)、盛美的清洗設(shè)備、中微的12英寸刻蝕機(jī)等都是非常有競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備，很多產(chǎn)品已經(jīng)走出國(guó)門(mén)。這些都是最近幾年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的亮點(diǎn)。當(dāng)然這些成績(jī)也只是國(guó)產(chǎn)設(shè)備的初步發(fā)展，要真正做到國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備全面進(jìn)入國(guó)內(nèi)和國(guó)際兩個(gè)市場(chǎng)還需要付出相當(dāng)多的努力。

　　客觀地講，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)要獲得大的突破還有很長(zhǎng)的路要走。特別是設(shè)備與工藝的結(jié)合問(wèn)題，一直是制約國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線的主要瓶頸之一。設(shè)備硬件的改進(jìn)與工藝軟件上的改進(jìn)有時(shí)是分不開(kāi)的。國(guó)外設(shè)備廠商特別是關(guān)鍵的、與工藝密切相關(guān)的前道設(shè)備廠商在工藝上投入巨大，他們一般都建有相應(yīng)的工藝研發(fā)生產(chǎn)線。而中國(guó)幾乎沒(méi)有擁有自己工藝研發(fā)生產(chǎn)線的半導(dǎo)體設(shè)備廠商。工藝固化到設(shè)備中，我們還有一定的距離。國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備與工藝的重視，對(duì)國(guó)產(chǎn)裝備業(yè)來(lái)說(shuō)是莫大的發(fā)展機(jī)會(huì)。

　　設(shè)備業(yè)要真正壯大，取決于兩個(gè)因素：一是電子工業(yè)的基礎(chǔ)，即構(gòu)成設(shè)備的基本部件的水平。目前我國(guó)的真空棒、質(zhì)量流量計(jì)、不銹鋼接頭閥門(mén)、等離子體源等這幾個(gè)基本部件與國(guó)外差距太大。雖然我們可以購(gòu)買(mǎi)，但國(guó)產(chǎn)設(shè)備的成本優(yōu)勢(shì)就會(huì)大打折扣。因此，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展一定要從基礎(chǔ)入手，從零部件入手。二是要有自己獨(dú)到的技術(shù)和創(chuàng)新理念，同時(shí)設(shè)備要與工藝密切結(jié)合。“跟蹤”沒(méi)有前途，“趕上”也未必能生存，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)只有超越才能發(fā)展。

　　半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的發(fā)展，依賴(lài)于零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，更依賴(lài)于半導(dǎo)體制造企業(yè)工藝技術(shù)實(shí)現(xiàn)由技術(shù)跟蹤到技術(shù)引領(lǐng)的跨越。理性看待國(guó)產(chǎn)裝備業(yè)的成績(jī)，同時(shí)正確分析存在的差距與問(wèn)題，國(guó)產(chǎn)設(shè)備才能迎來(lái)更加快速和令人欣喜的大發(fā)展。