先鋒半導(dǎo)體實現(xiàn)刻蝕機核心部件國產(chǎn)化,配套臺積電全球首條5nm產(chǎn)線
據(jù)泰州日報報道,靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司實現(xiàn)了大規(guī)格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產(chǎn)化,并將配套全球首條5納米芯片生產(chǎn)線。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202109/428158.htm報道指出,先鋒半導(dǎo)體公司總經(jīng)理游利介紹,噴淋盤是芯片制造設(shè)備刻蝕機的主要部件,先鋒半導(dǎo)體產(chǎn)品將用于中微半導(dǎo)體公司生產(chǎn)的5納米刻蝕機,并應(yīng)用于臺積電全球首條5納米制程生產(chǎn)線。
資料顯示,先鋒半導(dǎo)體成立于2008年,是一家從事半導(dǎo)體器件、集成電路專用設(shè)備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品主要應(yīng)用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備,供應(yīng)給國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)OEM廠商,是中國半導(dǎo)體行業(yè)精密零部件的主要制造商。
2008年成立之初,先鋒半導(dǎo)體便與中國半導(dǎo)體設(shè)備知名廠商中微半導(dǎo)體展開合作。2018年底,中微半導(dǎo)體突破歐美封鎖,成功研發(fā)出5納米芯片刻蝕機,其中的主要部件噴淋盤,就是先鋒半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)的。目前,先鋒半導(dǎo)體已成為中芯國際、中微半導(dǎo)體、北方華創(chuàng)、北方微電子等國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)的重要供應(yīng)商。
游利表示,下一步,先鋒將在半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化替代、本地化研發(fā)領(lǐng)域,堅定走“專精特新”發(fā)展之路。同時,瞄準行業(yè)前沿,用國際化的眼光對標、趕超行業(yè)先進,致力打造全球有競爭力的精密制造專家。
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